中古リークディテクター・質量分析計の在庫・価格
在庫 4点 価格 800,000〜1,200,000円（税別・送料別／価格掲載 4点） 過去の取扱 57件
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中古リークディテクター・質量分析計の在庫 4点
新しく登録した在庫から順に並べています。価格は税別・送料別です。
中古リークディテクター・質量分析計の価格の目安
2026年10月9日時点で当社が販売している在庫のうち、価格を載せている4点の販売価格です(税別・送料別)。売却済の品の価格は含みません。同じ型式でも年式・状態・付属品で価格は変わります。
| 種類 | 価格(税別) | 在庫 |
|---|---|---|
| ヘリウムリークディテクター | 800,000〜 | 3 |
| 質量ガス分析装置 | 800,000円 | 1 |
メーカー・型式ごと(在庫の多い順)
| メーカー | 型式 | 価格(税別) | 在庫 |
|---|---|---|---|
| インフィコン Inficon | P3000XL | 800,000円 | 2 |
| アネルバ ANELVA | A-230M-LD | 1,200,000円 | 1 |
| アルバック Ulvac | CGM-052 | 800,000円 | 1 |
リークディテクター・質量分析計について
AIでまとめた分野の一般的な解説です。個々の商品の仕様・状態は各商品ページでご確認ください。
リークディテクター・質量分析計は、気体の分子をイオンにして質量ごとに分けて測る仕組みを使い、漏れの場所を探したり、ガスや試料の成分を調べたりする機器をまとめた節である。真空装置や配管、部品の漏れを探すヘリウムリークディテクター、真空容器の中に残るガスや工程のガスを調べる質量ガス分析装置(四重極形の質量分析計、Qマス、残留ガス分析計とも呼ばれる)、試料を加熱して出てくるガスを測る昇温脱離分析装置(TDS)、溶液の中の微量の元素を測るICP質量分析装置(ICP-MS)がここに入る。真空や半導体、電子部品、冷凍空調、自動車部品の製造と研究の現場で、漏れと汚れの管理に欠かせない機器である。
ヘリウムリークディテクターは、空気中にわずかしか含まれず、分子が小さく漏れの穴を通りやすいヘリウムを目印のガスに使う。検査する物の内側を真空に引いて外からヘリウムを吹き付ける真空法と、内側にヘリウムを入れて加圧し、外から吸い込み口(スニッファー)で漏れ出るヘリウムを探すスニッファー法がある。本体は質量分析管、真空ポンプ、制御部からなり、多くは磁場で質量を分ける方式の分析管を使う。内蔵のポンプが油回転ポンプかドライポンプかで、使う環境や保守の手間が変わる。
質量ガス分析装置は、真空の中のガスを電子でイオンにし、四重極の電極で質量ごとに分けて測る。真空装置の到達の具合や、水分、酸素、炭化水素などの残留ガスの種類を調べたり、プロセス中のガスの変化を見たりするのに使う。センサーヘッドを真空容器に取り付けて使い、高い真空の中でしか動かないため、圧力の高い工程を見るときは差動排気の仕組みと組み合わせる。昇温脱離分析装置は、この質量分析計を超高真空の容器と試料の加熱機構と組み合わせ、材料に含まれる水素や水分、ガスが何度で出てくるかを調べる装置である。
ICP質量分析装置は、アルゴンのプラズマで溶液の試料をイオンにして質量分析計で測り、多くの元素を非常に低い濃度まで同時に定量する。同じ質量分析でも、真空のガスを見る機器とは用途も設備も大きく異なり、環境や半導体の薬液の微量の不純物の分析に使われる。
選び分けは、漏れを探したいのか、ガスの成分を知りたいのか、材料から出るガスを見たいのか、液体の中の元素を測りたいのかで決まる。漏れの検査ならヘリウムリークディテクター、真空の中のガスなら質量ガス分析装置、材料の脱ガスなら昇温脱離分析装置、微量元素ならICP-MSを選ぶ。
中古リークディテクター・質量分析計を選ぶときの確認点
- 標準リークの有無と値
- ヘリウムリークディテクターの感度を合わせる標準リーク(校正リーク)が付くか、内蔵か外付けかを確かめます。標準リークの値と校正の記録、温度の補正の情報がそろっているかで、検出した漏れの量を正しく読めるかが決まります。
- 内蔵ポンプの種類と状態
- リークディテクターに内蔵された粗引きポンプとターボ分子ポンプの種類、運転時間、オーバーホールの履歴を確かめます。油回転ポンプなら油の汚れ、ドライポンプなら清浄な環境向きかどうかも選ぶときの要点です。
- フィラメントとイオン源
- 質量分析管やセンサーヘッドのイオン源のフィラメントは寿命のある部品です。二本を持つ機種なら何本が使える状態か、予備のフィラメントやイオン源が手に入るかを確かめ、焼損や汚れの記録があれば見ておきます。
- 質量範囲と検出器
- 質量ガス分析装置は測れる質量の範囲と、ファラデーカップだけか二次電子増倍管(SEM)も備えるかで感度が変わります。測りたいガスの質量が範囲に入るか、取付けのフランジの規格が手持ちの真空容器に合うかを確かめてください。
- 制御ユニットとケーブルとソフト
- 質量ガス分析装置はセンサーヘッド、制御ユニット、ケーブル、ソフトが組で動く前提です。型式の組合せがそろっているか、ケーブルの長さ、パソコンとの通信の方式、ソフトとライセンスの有無、今のOSで使えるかを見ておきます。
- 前に扱ったガスと汚れ
- 腐食性や反応性のプロセスガス、油の多い環境で使われた機器は、イオン源や分析管が汚れていたり傷んでいたりします。前の使用環境と、ベーキングや清掃の履歴を確かめ、外観の腐食や配管内の汚れも見てください。
AIでまとめた一般的な確認点です。個々の商品の付属品・状態は各商品ページでご確認ください。
過去に扱ったメーカー・型式
売却済・在庫なしを含む上位30型式。同じ型式をお探しなら 入荷したらお知らせします。
| メーカー | 型式 | 機種 | 台数 | 最終 |
|---|---|---|---|---|
| アルバック Ulvac | BGM-102 | 質量ガス分析装置 | 5 | 2025年 |
| 島津製作所 Shimadzu | MSE-2200S | ヘリウムリークディテクター | 3 | 2023年 |
| アネルバ ANELVA | M-101GA-DM | 質量ガス分析装置 | 3 | 2022年 |
| アルバック Ulvac | Heliot 701 | ヘリウムリークディテクター | 2 | 2026年 |
| アルバック Ulvac | CGM-052 | Qマス | 2 | 2025年 |
| MKS | e-Vision+ LM102-00305004 | 質量ガス分析装置 | 2 | 2016年 |
| Adixen | ASM310 | ヘリウムリークディテクター | 2 | 2013年 |
| アネルバ ANELVA | M-222LD-D | ヘリウムリークディテクター | 2 | 2013年 |
| インフィコン Inficon | UL200 | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2026年 |
| アネルバ ANELVA | AQA-100MPX | 四重極型質量分析計 | 1 | 2025年 |
残り20型式を見る
| メーカー | 型式 | 機種 | 台数 | 最終 |
|---|---|---|---|---|
| アルバック Ulvac | HGM302 | 四重極質量分析装置 | 1 | 2025年 |
| アルバック Ulvac | Heliot model 301 | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2024年 |
| インフィコン Inficon | Transpector XPR3 | プロセスモニター用Ｑmass | 1 | 2024年 |
| アルバック Ulvac | HELIOT304 | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2023年 |
| アルバック Ulvac | BGM-201 | 質量ガス分析装置（プロセスガスモニター） | 1 | 2023年 |
| パーキンエルマー Perkin Elmer | ELAN DRC | ICP-MS（質量分析装置） | 1 | 2022年 |
| アルバック Ulvac | 901D2-J1A | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2021年 |
| アネルバ ANELVA | M-201GA-DM | Qマス（質量ガス分析装置） | 1 | 2021年 |
| アルバック Ulvac | ヘリオット 702 | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2020年 |
| アネルバ ANELVA | M-400QA-M | 質量ガス分析装置 | 1 | 2020年 |
| ファイファー Pfeiffer | QME200 | 質量ガス分析計（Qマス） | 1 | 2020年 |
| ライボルトインフィコン | H200M | 質量ガス分析装置 | 1 | 2020年 |
| 電子科学 | TDS1200 | 昇温脱離分析装置(TDS) | 1 | 2019年 |
| アルバック Ulvac | HELIOT706D-CH | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2019年 |
| 島津製作所 Shimadzu | MSE-2000R | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2018年 |
| アルバック Ulvac | HELIOT 301 | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2018年 |
| アネルバ ANELVA | M-222LD | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2018年 |
| アルバック Ulvac | HELIOT 302 | ヘリウムリークディテクター | 1 | 2016年 |
| インフィコン Inficon | TSP | 質量ガス分析装置 | 1 | 2016年 |
| ライボルトインフィコン | TSP TH300 | 質量ガス分析装置 | 1 | 2016年 |
リークディテクター・質量分析計のよくある質問
Q真空法とスニッファー法はどう使い分けますか？
Qリークディテクターと質量ガス分析装置は何が違いますか？
Qヘリウムの代わりに水素で漏れを検査できますか？
Q質量ガス分析装置はどのくらいの真空で使えますか？
Q使わなくなったリークディテクター・質量分析計を売ることはできますか？
リークディテクター・質量分析計の買取も行っています
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