中古 アルバック Ulvac / アルカテル 真空排気ユニット PMB-001C

本機は、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせた真空排気システムです。主ポンプには大排気量で信頼性の高いルーツ型真空ポンプが採用され、バックポンプ（補助ポンプ）として油回転真空ポンプが組み合わされています。メカニカルブースターポンプ単体では大気圧からの起動ができないため、バックポンプと連動制御することで、大気圧から中真空領域までの連続的かつ高速な排気を実現しています。

主ポンプ部の設計排気速度は100 m3/h（50Hz時）および120 m3/h（60Hz時）を有しており、真空チャンバーの急速な立ち上げや、プロセス中の大量ガス処理において優れた排気能力を発揮します。ポンプ内部は非接触で回転するローター構造となっており、真空室内に潤滑油が逆流しにくい設計のため、クリーンな真空環境の構築が可能です。

また、本システムはユニットとして専用架台に一体化されており、各ポンプ間の配管や配線が構築されています。これにより設置時の配管工数が削減され、導入後のメンテナンス性にも優れています。真空熱処理炉、真空乾燥機、コーティング装置、各種分析機器など、安定した排気性能が求められる産業・研究用途の真空設備において、メインの排気系として利用される装置です。