中古アクティブゲージの在庫・価格

アクティブゲージの特徴

真空コンポーネントにおけるアクティブゲージとは、真空度（圧力）を測定するセンサーヘッド部分と、その信号を処理・変換する電装基板（信号処理回路）が一体化した真空計を指します。従来型のパッシブゲージがセンサーヘッドと外付けの専用コントローラを専用ケーブルで接続する必要があったのに対し、アクティブゲージは測定部と制御機能がコンパクトに融合している点が構造上の最大の特徴です。

この一体型構造により、大型の専用コントローラを制御盤内に設置するスペースが不要となり、装置全体の小型化と省スペース化に大きく貢献します。また、センサーから信号処理回路までの距離が極めて短いため、外部からの電磁ノイズの影響を受けにくく、安定した高精度な測定信号を出力できます。さらに、標準的なアナログ電圧出力（0〜10Vなど）や、RS485、EtherCATといった産業用デジタル通信プロトコルに直接対応しているため、PLC（プログラマブルロジックコントローラ）やホストコンピューターへの直接接続が容易であり、システム全体の構築・メンテナンスコストを大幅に削減できます。

アクティブゲージの仕組み

アクティブゲージの基本的な仕組みは、内部に搭載された「真空度を検知する物理センサー要素」と、「その変化を標準信号に校正・変換する電子基板」の連携によって成り立つものです。

測定原理自体は、測定対象となる真空帯（圧力領域）に応じて最適化された方式が組み込まれています。大気圧から中真空領域（100kPa〜0.1Pa程度）では、気体の熱伝導率を利用するピラニゲージ方式や、ダイヤフラムの変形量を電気容量の変化として検出する隔膜真空計（キャパシタンス・マノメータ）方式が採用されます。一方、高真空から超高真空領域（0.1Pa以下）では、気体分子を電離させて生じたイオン電流を測定する熱電離形（バヤード・アルパートゲージなど）や冷陰極電離形（ペニングゲージなど）の原理が用いられます。

アクティブゲージの技術的核となるのは、これら各種センサー要素が捉えた微小な物理変化（抵抗値・静電容量の変化や極めて微弱なイオン電流など）を、ヘッド内部の基板で即座に増幅・補正（温度補償含む）・校正し、直線性の高い統一されたデジタルまたはアナログ信号へ変換する仕組みです。高電圧を必要とする電離形ゲージであっても、超小型化された高圧電源回路がヘッド内に内蔵されているため、外部から高圧ケーブルを引き回す危険性や手間がありません。

アクティブゲージの用途

アクティブゲージは、その優れた省スペース性、ノイズ耐性、そしてPLCへの統合のしやすさから、現代の高度に自動化された産業用真空装置全般で広く採用されています。

代表的な用途の一つが、半導体製造装置および液晶・有機ELディスプレイの製造ラインです。スパッタリング、蒸着、CVD（化学気相成長）、ドライエッチングなどのプロセス装置では、複数の真空室（マルチチャンバー）が構成されることが多く、多数のポイントで正確な圧力管理が求められます。アクティブゲージを導入することで、配線を簡略化しつつ分散制御が可能となり、高度なプロセス管理を実現します。

また、真空熱処理炉、真空溶解炉、電子ビーム溶接機といった金属加工設備や、真空乾燥装置、フリーズドライ（凍結乾燥）装置などの食品・医薬品製造ラインでも不可欠なコンポーネントです。さらに、質量分析計や電子顕微鏡などの科学分析機器、加速器をはじめとする最先端の研究開発施設に至るまで、高信頼性の真空計測・制御が求められるあらゆる分野で活用されています。