中古 エドワーズ Edwards アクティブピラニゲージ APG-L-NW16

本装置は、真空配管やチャンバー内の圧力を測定するための熱伝導式真空計（アクティブピラニゲージ）です。センサー部と信号処理回路が一体化されたアクティブ型構造を採用しており、外部のコントローラーやデータロガーに対して測定値に応じたアナログ電圧信号を直接出力します。

測定圧力範囲は大気圧から1×10^-4 mbar（約1×10^-2 Pa）までと広く、粗引きポンプの排気プロセスの連続的な監視や、高真空ポンプ（ターボ分子ポンプなど）を作動させるためのインターロック用センサーとして多用されています。同シリーズ内には測定下限や用途が異なる複数のモデルが存在しますが、本モデルは測定下限が1×10^-4 mbarまで対応する広帯域仕様であり、一般的な真空環境の測定に幅広く適用されます。

センサー内部のフィラメント材質には、応答性に優れたタングステンが採用されています。真空ラインとの接続部はNW16（KF16）フランジ仕様となっており、センタリングオーリングとクランプを用いた標準的な真空配管へ容易に接続可能です。また、提供いただいた外形寸法はW55 × D35 × H120 mmであり、コンパクトな設計のため、バルブや配管が密集する真空システム内でも省スペースでの組み込みが可能です。