中古 エドワーズ Edwards アクティブゲージ AIM-P-NW25

本器は、高真空領域の測定に用いられる冷陰極電離真空計（インバーテッド・マグネトロン・ゲージ）です。センサーチューブ本体と信号処理回路、さらに駆動に必要な高圧電源がコンパクトに一体化された「アクティブゲージ設計」を採用しています。外部に専用の大型高圧電源やコントローラを設置することなくDC電源の供給のみで動作するため、システムへの組み込みが容易であり、ケーブル配線の簡略化と電気的ノイズの影響低減に貢献します。

内部構造には、従来のペニング真空計を改良したインバーテッド・マグネトロン方式を採用しています。この方式は放電の安定性に優れており、低圧力帯でも確実な着火と連続的な測定が可能です。また、熱陰極方式（イオンゲージなど）とは異なり高温のフィラメントを使用しないため、突発的な大気流入や圧力上昇によるフィラメント断線のリスクが物理的に存在せず、突発的なトラブルに対する耐久性が高い点が最大の長所です。

接続部には標準的な真空配管規格であるNW25（KF25）を採用しており、真空チャンバーや排気ラインへクランプひとつで迅速に取り付けることができます。半導体製造装置、真空蒸着装置、分析機器、各種研究開発設備など、中真空から高真空（10⁻² ～ 10⁻⁸ mbar領域）の継続的な圧力監視やインターロック制御が求められる環境で広く活用される堅牢なセンサーです。