中古コンダクタンスバルブの在庫・価格（キヤノンアネルバテクニクス Canon ANELVA Technix）

コンダクタンスバルブは、真空チャンバーと真空ポンプの間の流路の開口面積を連続的に変えて排気系のコンダクタンス（ガスの流れやすさ）を調整し、チャンバー圧力を制御するバルブである。スロットルバルブや圧力制御バルブとも呼ばれる。全開か全閉で使う遮断用バルブと違い、弁体を中間の開度で止めて保持できる。ガス導入側のニードルバルブなどを含めてこう呼ぶこともあるが、ここでは排気側の圧力制御用を扱う。
仕組みの基本はスループットの釣り合いである。チャンバー圧力はガス負荷Qを実効排気速度で割った値になり、実効排気速度はポンプの排気速度Sとバルブのコンダクタンスの合成で決まる。プロセスガスの流量を一定にしたままバルブ開度を変えれば実効排気速度が変わり、圧力を設定値に保てる。これがダウンストリーム圧力制御である。圧力の検出には主に隔膜真空計を使う。コントローラが測定値と設定値から必要な弁位置を計算し、ステッピングモータなどで弁体を動かして、その位置をエンコーダで監視する。コントローラはバルブ一体型と外付け型がある。
弁体の形式は主にバタフライ型、振り子型、ポペット型がある。バタフライ型は小型で応答が速いが、全閉で気密を保つのは苦手である。振り子型は弁板を回転させて開口から外すため、全開時に大きなコンダクタンスが得られる。シールリングを押し当てて閉じれば遮断弁も兼ねられる。メーカー資料の一例では、口径DN200〜250の分子流での全開コンダクタンスが1万2000〜2万2000L/s、最小制御コンダクタンスが0.2L/s前後で、5桁近い範囲を一台で受け持つ。圧力範囲は1×10^-8mbar程度から大気圧付近（1.2bar abs）まで、無処理アルミニウム製の弁座リーク率は1×10^-9mbar・L/s未満、全開から最小コンダクタンスまでの動作時間は1秒前後である。
構造上の課題は、全閉に近い小開度域での分解能である。開度のわずかな変化で開口面積が急に変わるため、制御が粗くなりやすい。開口部の形状を工夫して面積の変化をなだらかにする設計も提案されている。
主な用途は、半導体やFPD製造のドライエッチング、CVD、スパッタリングなど、ガスを流しながら決まった圧力を保つ工程である。研究用のプラズマ処理装置や成膜装置でも使う。腐食性ガスを使う工程向けには、硬質アルマイト処理の本体や一部にPTFEをコーティングした弁板がある。ただし硬質アルマイト品は、弁座リーク率が1×10^-4mbar・L/s未満、下限圧力が1×10^-6mbar程度と、無処理品より仕様が落ちる。副生成物の付着を抑えるために、本体を最高120℃程度まで加熱するオプションもある。
選定では、ガス流量と目標圧力から必要なコンダクタンスの範囲を求め、ふだん使う開度が極端な小開度にならないように口径とポンプを組み合わせる。あわせて、真空計の接続台数、通信インターフェース、停電時に自動で閉じるか開くかの機能、初回保守までの動作回数を確認する。動作回数は、制御動作で数百万回、開閉で数万回程度という例がある。中古品の場合、同じシリーズでも型式の末尾の符号でインターフェースやオプションが変わるため、既存装置と合うかを確かめる必要がある。