中古 VAT / アネルバ コンダクタンスバルブ CMS-327

本装置は、半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造などの真空プロセスにおいて、チャンバー内の圧力を高精度に制御・維持するために使用されるコンダクタンスバルブ（圧力制御バルブ）です。主にCVDやドライエッチング装置などのAPC（自動圧力制御）システムに組み込まれ、プロセスガスの流量変動に対してバルブの開度を連続的かつ微細に調整することで、コンダクタンス（ガスの排気速度）を最適化します。

駆動部には高分解能なステッピングモーターが採用されており、ヒステリシスの少ない迅速な応答性を実現しています。接ガス部には耐食性を考慮したアルミニウム合金やステンレス素材が用いられ、過酷なプラズマプロセス環境下でもパーティクルの発生を抑えつつ安定した動作を保ちます。また、全閉時にはチャンバーを隔離する遮断バルブとしても機能する高いシール性を有しており、高真空領域から大気圧付近までの幅広い圧力帯での使用に適しています。

中古機器として導入または運用を検討する際は、対象装置の接続フランジ規格（口径寸法）が適合するかどうかに加え、過去に使用されていたプロセスガスに起因する接ガス部の腐食状態、およびOリング等の消耗シール部材の劣化具合を確認することが推奨されます。