中古 堀場エステック Stec SEF-Z511X（マスフローメーター）の在庫 3台

【マスフローメーターの仕組み】
マスフローメーター（質量流量計）は、気体や液体の「質量」を直接測定する計測機器です。従来の体積流量計（浮子式やタービン式など）は、温度や圧力の変化によって流体の密度が変わると正確な測定が難しくなり、外部で温度・圧力補正を行う必要がありました。これに対し、マスフローメーターは温度や圧力の変動に左右されず、常に正確な質量流量を測定できる点が根本的な違いです。

主な測定方式には「熱式」と「コリオリ式」の2つがあります。

最も一般的に使われる熱式マスフローメーターは、流路内に配置したセンサー部の熱移動を利用します。流路の一部にバイパス管（センサー管）を設け、そこにヒーターと2つの温度センサーを取り付けます。流体が流れていない状態では左右のセンサーの温度は均等ですが、流体が流れると上流側の熱が下流側に奪われ、温度差が生じます。この温度差が流れる物質の質量流量（単位時間あたりの分子の数）に比例するため、これを電気信号に変換して流量を算出します。

一方、コリオリ式は、振動させた測定管に流体が通る際に生じる「コリオリの力」による管のねじれ（位相差）を検出する方式です。気体だけでなく高粘度の液体やスラリーの測定にも適しており、極めて高い精度を誇ります。

【マスフローメーターの主な特徴】
マスフローメーターが産業界で広く重宝される理由は、その優れた特性にあります。

1. 温度・圧力補正が不要
質量を直接測定するため、周辺環境やプロセスの温度・圧力が変化しても補正演算を行う必要がありません。これにより、測定システム全体の構成を簡略化できます。

2. 高精度かつ高い再現性
微小な流量から大流量まで、非常に高い精度で測定が可能です。再現性（繰り返した際の測定値のブレの小ささ）にも優れているため、厳しい品質管理が求められる製造現場に最適です。

3. 電気信号による出力と自動化への適応
測定データはアナログ信号（0〜5V、4〜20mAなど）やデジタル通信（RS-485、EtherCATなど）として出力されます。これにより、PLC（制御装置）やパソコンと接続し、流量のリアルタイム監視やデータの自動記録が容易に行えます。なお、流量測定機能に自動調整バルブを一体化させ、指定した流量に自動制御できるようにした機器は「マスフローコントローラー（MFC）」と呼ばれます。

4. 微小流量の測定が可能
特に熱式マスフローメーターは、1分間に数ミリリットルといった極めて少ない気体流量も正確に測定できます。

【マスフローメーターの多角的な用途】
マスフローメーターは、精度の高い流体管理が必要とされる幅広い分野で活用されています。

• 半導体・電子部品製造プロセス
• 最も主要な用途の一つです。半導体の製造工程では、CVD（化学気相成長）やエッチング、スパッタリングなどで特殊なガスを極めて正確な比率で供給する必要があります。微小な流量のズレが製品の歩留まりに直結するため、超高精度のマスフローメーターやコントローラーが必須となります。

• 理化学機器・分析装置
• ガスクロマトグラフなどの分析装置において、キャリアガスの流量を安定して供給するために使用されます。再現性の高い分析結果を得るためには、変動のない安定したガスフローが不可欠です。

• 燃料・燃焼制御（エネルギー分野）
• 産業用バーナーやボイラー、自動車のエンジン試験などにおいて、燃料ガスや空気の供給量を厳密に制御するために使われます。最適な混合比率を維持することで、燃焼効率の向上や有害排気ガスの削減に貢献します。また、次世代エネルギーとして注目される燃料電池の研究開発や評価装置にも欠かせません。

• 薬品・バイオ・食品工業
• 医薬品の合成プロセスにおける反応ガスの供給や、培養装置（バイオリアクター）への酸素・二酸化炭素の精密供給に使用されます。食品・飲料分野では、炭酸飲料への二酸化炭素の注入や、食品の酸化防止用窒素ガスの充填工程などで活躍しています。

• プラント・化学工業
• 各種化学反応における原料ガスの混合比率の管理や、危険物の漏洩防止のための不活性ガスによるパージ（置換）作業の流量確認に利用されています。