中古 堀場エステック Stec マスフローメーター SEF-Z511X

配管を流れるガスの質量流量を、熱の移動を利用して測る熱式のマスフローメータです。流量を制御するバルブを持たない計測専用の機器で、ガスの流れを絞らずに流量だけを測り、表示器や装置の制御系へ信号を送ります。
熱式の流量計は、センサ管を流れるガスがヒーターの熱を下流へ運ぶことで生じる温度の差から質量流量を求めるため、ガスの温度や圧力が変わっても体積に換算し直さずに流量を扱えます。半導体製造装置や成膜装置、分析装置のガスラインで、ガスの使用量の監視や、マスフローコントローラの流量の確認などに使われます。
掲載の登録情報では、校正ガスは窒素(N₂)、フルスケール流量は2 SLMです。精度、応答、供給電源、出力信号、継手は、メーカーの資料で確認できていません。