中古真空導入機・マニピュレーターの在庫・価格

真空導入機・マニピュレーターは、真空を保ったまま、チャンバーの外から中の物を動かすための機器の分野である。試料を測定位置へ送る、シャッターを開け閉めする、基板を回す、ロードロック室から本室へ試料を受け渡す、といった動きを、大気を入れずに伝える役目を持つ。表面分析装置や分子線エピタキシー(MBE)、成膜装置、研究用の自作の真空装置で多く使われる。
この分野の機器は、伝える動きで分けられる。直線導入機は、ベローズで真空を封じたまま軸を前後に動かす物で、つまみを回すマイクロメーター式や、モーター駆動の物がある。回転導入機は、軸の回転を真空中へ伝える物で、ベローズを使う方式、磁石で外と中を結合する磁気結合方式、磁性流体で軸を封じる方式などがある。トランスファーロッドは、長い管の外側の磁石で中の棒を動かす磁気結合式が多く、試料ホルダーを別の部屋へ長い距離運ぶのに使う。
マニピュレーターは、試料をX・Y・Zの三方向に動かし、さらに回転や傾きを加えて、測定や加工に都合のよい位置と向きに合わせるための装置である。表面分析や電子分光の装置では、試料を加熱したり冷却したりする機能を持たせることも多く、その場合は電流導入端子や冷媒を通す配管も組み込まれる。動きを組み合わせて制御器でまとめた物は、マニピュレーターシステムとして一式で扱われる。分子線エピタキシーや蒸着の装置では、基板を回して膜の厚さをそろえるための回転機構や、るつぼの前を覆うシャッターの駆動にも、回転導入機や直線導入機が使われる。
動きを真空中へ伝える方式は、封じ方に違いがある。ベローズ封止は漏れが少なく超高真空にも使えるが、ベローズの伸び縮みに寿命があり、動かせる量も限られる。磁気結合は封止部が動かないので漏れにくい反面、伝えられる力やトルクに限りがあり、強く押すと滑ることがある。磁性流体シールは連続回転に強いが、ベーキングの温度や使える真空の範囲に制約がある。
選ぶときは、まず必要な動き(直線か回転か、その組み合わせか)と、動かす量(ストロークや回転角)、動かす物の重さを決める。そのうえで、取付けフランジの規格、封止の方式と到達させたい圧力、ベーキングの要否、手動か電動かを装置に合わせて絞り込むとよい。試料ホルダーの形は装置ごとに違うことが多いので、受け渡す相手側の形と合うかも大切な点になる。電動化や位置の読み取りが要るなら、モーターやエンコーダーを後から付けられる構造かどうかも、選ぶときの判断材料になる。