中古X線分析装置（XRF・XRD）の在庫・価格（島津製作所 Shimadzu）

X線分析装置(XRF・XRD)は、試料にX線を当て、そこから出てくるX線や散乱するX線を測って、含まれる元素や結晶の構造を調べる分析装置の節である。元素の種類と量を調べる蛍光X線分析装置(XRF)と、結晶の構造や種類を調べるX線回折装置(XRD)が中心で、試料を壊さずに、固体や粉末をほとんど前処理なしで測れることが大きな特徴になる。金属や鉱物、セラミックス、半導体の材料、薬品、環境の試料まで、材料を扱う研究と品質管理の現場で広く使われている。
蛍光X線分析装置は、X線を当てられた原子が出す、元素ごとに決まったエネルギーの蛍光X線を測って、含まれる元素とその量を調べる。検出器でX線のエネルギーをまとめて測るエネルギー分散型(EDX、EDXRF)と、分光結晶で波長を分けて一つずつ測る波長分散型(WDX、WDXRF)がある。エネルギー分散型は小型で多くの元素を同時に短時間で測れ、波長分散型は分解能と軽い元素の感度に優れ、精密な定量に向く。RoHSなどの有害元素の検査、合金の判別、めっきや膜の厚さの測定にもよく使われる。軽い元素は蛍光X線が弱く空気に吸収されやすいため、試料室を真空にしたりヘリウムで満たしたりして測る機種もある。
X線回折装置は、結晶にX線を当てると原子の並びの間隔に応じた角度で強く回折することを利用し、回折の角度と強さの並び(回折パターン)から結晶の種類や構造を調べる。粉末の試料の物質の同定がもっとも一般的な使い方で、結晶の大きさやひずみ、結晶化の度合い、薄膜の配向や厚さの評価にも使われる。X線管、試料と検出器の角度を精密に動かすゴニオメーター、検出器、制御と解析のソフトで構成され、薄膜用や高温用などのアタッチメントで測れる対象が広がる。
どちらの装置も、X線管を動かすための高電圧の電源と、多くの場合は冷却水の循環装置を必要とする。X線を扱うため、装置は遮蔽とインターロックで外に漏れないように作られているが、設置にあたっては法令にもとづく届出や管理区域の設定、作業主任者の選任などが必要になる場合がある。
選び分けは、知りたいのが元素か結晶かで決まる。何の元素がどれだけ含まれるかならXRF、どんな化合物や結晶の形かならXRDを選び、両方を組み合わせると未知の材料の正体を絞り込みやすい。中古で選ぶときは、X線管の使用時間、検出器の種類と冷却の方式、解析ソフトとデータベースのライセンス、冷却水装置がそろっているかが状態と使い始めるまでの手間を左右する。