中古機 バルブコントローラー Vat製、型式PM-4のご紹介

【AIによる装置概要】
VAT製の可変コンダクタンスバルブを駆動し、真空チャンバの圧力を設定した値に保つための圧力コントローラです。真空計の圧力信号をもとにバルブの開度を自動で調整する圧力制御モード(PRESSURE MODE)と、開度を指定してバルブを動かす位置制御モード(POSITION MODE)を切り換えて使います。
前面にはPOWER、PRESSURE MODE、POSITION MODE、OPEN、CLOSEDの状態を示すLEDと、保守用のD-sub 25ピンのSERVICE BOXコネクタがあります。筐体は19インチのラックマウント型で、装置のラックに組み込んで使います。エッチングやCVDなど、ガスを流しながら一定の圧力で処理する装置の圧力制御に使われます。
単体では使えず、VATの可変コンダクタンスバルブと真空計が必要で、対応するバルブの型式は限られます。電源と入出力の信号の仕様は確認できていません。
【AIによる参考仕様】
・現品前面の表示：VAT ADAPTIVE PRESSURE CONTROLLER PM-4
・制御モード：圧力制御(PRESSURE MODE)／位置制御(POSITION MODE)
・状態表示：POWER、PRESSURE MODE、POSITION MODE、OPEN、CLOSED のLED
・サービス用コネクタ：D-sub 25ピン(前面 SERVICE BOX)
・形態：19インチラックマウント型
・用途：VAT製 可変コンダクタンスバルブの駆動によるチャンバ圧力制御
※前面パネルの表示から読み取った値。メーカーの公開資料に PM-4 の諸元表が残っておらず、電源・入出力信号仕様は未確認。
※単体では使えず、VAT の可変コンダクタンスバルブ(振子式など)と真空計が必要。
※対応するバルブの型式が限られるため、組み合わせを確認すること。