中古機 バルブコントローラー Tylan General製、型式AC-2Xのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空プロセスチャンバー内の圧力を高精度に制御するための適応型圧力コントローラーです。主に半導体製造プロセスや各種真空成膜装置において、排気ラインに設置されたモーター駆動式スロットルバルブと組み合わせて使用されます。キャパシタンスマノメーターなどの真空計から0〜10 VDCのアナログ圧力信号を受信し、設定された目標圧力値（セットポイント）を維持するようにバルブの開度を自動的に調節します。

主な特徴として、プロセス条件の変動に対して最適な制御パラメータを自動で演算・調整するアダプティブ（適応）制御アルゴリズムを搭載している点が挙げられます。これにより、チャンバー内への導入ガス流量の急激な変化や、プラズマ着火時に生じる圧力変動が発生した場合でも、オーバーシュートを最小限に抑えた迅速かつ安定した圧力制御が可能となります。

フロントパネルにはデジタルディスプレイが備わっており、現在の圧力値やバルブ開度（0〜100%）のリアルタイム監視、自動圧力制御モードとマニュアルポジション（開度固定）制御モードの切り替えを直感的に行うことができます。また、外部インターフェースを介したリモート制御にも対応しているため、既存の装置システムへの組み込みや集中制御を構築する用途にも適しています。

【AIによる参考仕様】
・制御対象機器：モーター駆動式スロットルバルブ
・制御モード：自動圧力制御モード、マニュアルポジション制御モード（バルブ開度0〜100%）
・センサー入力信号：0〜10 VDC
・センサー用供給電源：±15 VDC
・制御方式：アダプティブ（適応型）自動チューニングアルゴリズム
・通信インターフェース：RS-232C
・リモートI/O：アナログ信号および接点信号による外部制御対応
・フロントパネル表示：デジタル圧力表示、バルブ開度パーセンテージ表示、各種ステータスLED
・入力電源電圧：100 / 120 / 220 / 240 VAC、50/60 Hz
・筐体サイズ：19インチラックマウント対応（ハーフ・ラック幅）

※本仕様は同シリーズの一般的なデータに基づく参考情報です。実際の測定対応範囲や適合するバルブおよび真空計の仕様については、個体のハードウェア構成やファームウェアのバージョンにより異なる場合があります。