中古 Tylan バルブコントローラー AC-2X
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- AC-2X
- 機種
- バルブコントローラー
- 管理番号
- Z17120706
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 現品前面の表示 | AdapTorr Model AC-2X(Tylan General) |
|---|
AC-2X の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 用途 | 可変コンダクタンスバルブ(スロットルバルブ)の駆動による圧力制御 |
|---|---|
| 内部電源表示 | +15V／-15V のLED |
| 手動操作 | Manual Override Switch(Close Valve／Open Valve) |
| 接続 | D-subコネクタ |
| 形態 | 小型ラックマウント型(ハーフサイズ) |
※前面パネルの表示から読み取った値。メーカーの公開資料に AC-2X の諸元表が残っておらず、電源電圧・入出力信号は未確認。
※単体では使えず、対応するスロットルバルブと真空計(バラトロンなど)が必要。
※Tylan General は現在 MKS Instruments に統合されている。
出典: 現品の銘板
Tylan AC-2X の装置概要 AIによる記述です
真空チャンバーの圧力を、可変コンダクタンスバルブ(スロットルバルブ)の開度を変えて制御するバルブコントローラーです。前面パネルにはAdapTorrの表示があります。真空計からの圧力信号をもとにバルブを駆動し、チャンバー圧力を設定値付近に保ちます。ポンプの排気速度を変えずにコンダクタンスで圧力を調整する方式のため、ガスを流しながら一定の圧力を保つ成膜やエッチングなどの工程で用いられます。
前面には内部電源の状態を示す+15V／-15VのLEDがあります。Manual Override Switchで、制御ループとは別にバルブを閉(Close Valve)または開(Open Valve)へ手動で切り替えられます。外部機器との接続はD-subコネクタで、筐体はハーフサイズの小型ラックマウント型です。
単体では動作せず、対応するスロットルバルブと、バラトロンなどの真空計を組み合わせて使います。メーカーの諸元表が公開されていないため、電源電圧や入出力信号の仕様は確認できていません。Tylan Generalは現在MKS Instrumentsに統合されています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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