中古L型バルブの在庫・価格

L型バルブは、入口と出口のポートが90度の位置にある真空用の開閉弁で、アングルバルブとも呼ばれる。真空配管の曲がり部分にそのまま組み込めて、エルボとバルブの役目を1つで果たすため、配管を短くでき、継手の数も減らせる。分子流領域ではコンダクタンスが配管の長さと曲がりで大きく下がるので、この配置は排気性能に直接効いてくる。
仕組みはポペット式が基本である。弁体の先に付けたOリング(標準はFKM)をボディ内のシート面に押し付けて閉じ、弁体を引き上げて開く。駆動は空気圧シリンダによるエアオペレート式が主流で、ばねで閉じて空気圧で開く単動ノーマルクローズ形と、開閉の両方を空気圧で行う複動形がある。単動形は圧縮空気や電源が止まったときに閉じるので、フェイルセーフにしやすい。手動式や電磁弁を一体にした形もある。弁棒が真空側と大気側をまたぐ部分の封じ方には、ベローズシールとOリングシールの2方式がある。ベローズシールはステンレス製のベローズが伸び縮みして弁棒の動きを吸収し、すべる部分が真空側に出ないので、発塵や大気の入り込みが少なく、高真空やクリーンな用途に向く。Oリングシールは構造が簡単で、速い動作や作動回数の多い用途に使われる。
典型的な仕様を挙げる。使用圧力は1×10^-6 Pa(abs)程度から大気圧まで。漏れ量はFKMシール・常温でガス透過を除いた値で、シート部(内部)が10^-10 Pa·m3/s台、外部が10^-11 Pa·m3/s台。フランジはKF(NW)とISO-K(DN)で、呼び径は16から160程度まである。コンダクタンスは同じ寸法のエルボの分子流での値で示されることが多く、呼び径100で約300 L/s、160で約800 L/sが目安になる。操作空気圧は0.4〜0.6 MPa程度。使用温度は標準品で5〜60℃程度、高温仕様では150℃程度まで。ボディ材はアルミ合金とステンレスが中心で、アルミは軽く熱をよく伝えるのでベーキング時に温度がそろいやすく、重金属汚染も少ない。ステンレスは耐食性や強度を重く見る場合に選ばれる。
用途として多いのは、半導体・FPD製造装置や成膜装置での粗引きライン、ドライポンプやターボ分子ポンプ背圧側のフォアライン、ロードロック室の排気、ベントやパージのラインである。分析機器や研究用真空装置でも、チャンバとポンプの切り離しやバイパスに広く使われている。
実務上の注意点を挙げる。反応生成物が多いプロセスでは、ヒータ付きや高温仕様でボディを温めて付着を抑える。ベローズとシールは消耗品なので、開閉回数をもとに交換時期を決める(耐久試験で200万回程度を確かめた例がある)。どちらのポートを真空側にするかで閉止力やシールの状態が変わることがあるため、取付の向きは仕様で確かめる。フランジに配管の重さや振動のトルクがかからないように支持する。開閉位置はオートスイッチで検出してインターロックに使うのが一般的である。腐食性ガスやプラズマにさらされる場合は、FFKMなど耐薬品性の高いシール材を選ぶ。