中古機 コンダクタンスバルブ Vat製、型式CMS-327のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造などの真空プロセスにおいて、チャンバー内の圧力を高精度に制御・維持するために使用されるコンダクタンスバルブ（圧力制御バルブ）です。主にCVDやドライエッチング装置などのAPC（自動圧力制御）システムに組み込まれ、プロセスガスの流量変動に対してバルブの開度を連続的かつ微細に調整することで、コンダクタンス（ガスの排気速度）を最適化します。

駆動部には高分解能なステッピングモーターが採用されており、ヒステリシスの少ない迅速な応答性を実現しています。接ガス部には耐食性を考慮したアルミニウム合金やステンレス素材が用いられ、過酷なプラズマプロセス環境下でもパーティクルの発生を抑えつつ安定した動作を保ちます。また、全閉時にはチャンバーを隔離する遮断バルブとしても機能する高いシール性を有しており、高真空領域から大気圧付近までの幅広い圧力帯での使用に適しています。

中古機器として導入または運用を検討する際は、対象装置の接続フランジ規格（口径寸法）が適合するかどうかに加え、過去に使用されていたプロセスガスに起因する接ガス部の腐食状態、およびOリング等の消耗シール部材の劣化具合を確認することが推奨されます。

【AIによる参考仕様】
・バルブタイプ: 圧力制御用コンダクタンスバルブ（APC対応）
・駆動方式: ステッピングモーター駆動
・圧力制御範囲: 1.0×10^-8 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・バルブシートリーク量: 1.0×10^-9 mbar・l/s 未満
・ボディリーク量: 1.0×10^-9 mbar・l/s 未満
・モーター分解能: 約10,000 ～ 20,000ステップ（フルストローク時）
・開閉動作時間（フルストローク）: 約1.0 ～ 1.5秒
・開弁時の許容最大差圧: 30 mbar 以下
・閉弁時の許容最大差圧: 1.0 bar（大気圧差）
・耐熱温度: バルブ本体 最高120℃（標準Oリング仕様時） / アクチュエータ部 最高50℃
・接ガス部材質: アルミニウム合金（ハードアルマイト処理）またはステンレス鋼
※上記は該当シリーズの代表的な数値に基づく参考仕様です。実際の接続フランジ規格（ISO-KF、ISO-K、CF等）、インターフェース、および細かな寸法については現品の銘板や状態をご確認ください。