中古 コンダクタンスバルブ
メーカー名
Vat
型式CMS-327
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
50,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空チャンバー等の排気ラインに設置され、排気コンダクタンス（ガスの流路抵抗）を連続的に変化させることで、チャンバー内の圧力を設定値へ高精度に維持・制御するためのコントロールバルブです。内部の弁体をステッピングモーターなどの駆動機構によって高速かつ微細にコントロールし、プロセスガスの流量変動や圧力変化に対して迅速に応答します。
主に半導体製造プロセス（CVD、スパッタリング、ドライエッチングなど）やFPD製造、ならびに各種真空実験装置において、極めて安定した圧力環境の構築が求められる用途に適しています。高精度なポジション制御技術により、目標圧力への到達時間を短縮しつつオーバーシュートを最小限に抑え、プロセスの安定性と歩留まり向上に貢献します。
また、高真空領域から大気圧付近までの幅広い圧力帯域での使用を想定した堅牢な設計となっており、シール部には耐薬品性や耐熱性に優れた材質が採用されているため、過酷なプロセス環境下でも長期的な信頼性を発揮します。
【AIによる参考仕様】
・バルブ機構：バタフライ型またはペンデュラム型 圧力制御機構
・適用圧力範囲：1×10^-6 Pa ～ 1×10^5 Pa（大気圧）
・バルブシート部リーク量：1×10^-9 Pa・m^3/s 以下
・ボディ外部リーク量：1×10^-9 Pa・m^3/s 以下
・駆動方式：高精度ステッピングモーター
・動作応答速度：約1.0秒 ～ 2.0秒（全開⇔全閉時）
・ポジション分解能：1,000 ～ 10,000ステップ（接続するコントローラに依存）
・本体主要材質：アルミニウム合金（表面処理済）またはステンレス鋼
・許容使用温度範囲（バルブ本体）：最大120℃ ～ 150℃（装着されているOリング材質等により変動）
・最大許容差圧：1 bar（100,000 Pa）
・制御インターフェース対応：RS-232C、RS-485、DeviceNet、アナログ信号（0-10V）等
※上記は同等クラスの製品群における代表的な参考仕様です。実際の接続フランジサイズ（NW / ISO-K / CF等）や細かなパラメーターは、本個体の構成および搭載されているオプションにより異なる場合があります。用途に応じた適合性については現品の各種寸法等をご参照ください。
本装置は、真空チャンバー等の排気ラインに設置され、排気コンダクタンス（ガスの流路抵抗）を連続的に変化させることで、チャンバー内の圧力を設定値へ高精度に維持・制御するためのコントロールバルブです。内部の弁体をステッピングモーターなどの駆動機構によって高速かつ微細にコントロールし、プロセスガスの流量変動や圧力変化に対して迅速に応答します。
主に半導体製造プロセス（CVD、スパッタリング、ドライエッチングなど）やFPD製造、ならびに各種真空実験装置において、極めて安定した圧力環境の構築が求められる用途に適しています。高精度なポジション制御技術により、目標圧力への到達時間を短縮しつつオーバーシュートを最小限に抑え、プロセスの安定性と歩留まり向上に貢献します。
また、高真空領域から大気圧付近までの幅広い圧力帯域での使用を想定した堅牢な設計となっており、シール部には耐薬品性や耐熱性に優れた材質が採用されているため、過酷なプロセス環境下でも長期的な信頼性を発揮します。
【AIによる参考仕様】
・バルブ機構：バタフライ型またはペンデュラム型 圧力制御機構
・適用圧力範囲：1×10^-6 Pa ～ 1×10^5 Pa（大気圧）
・バルブシート部リーク量：1×10^-9 Pa・m^3/s 以下
・ボディ外部リーク量：1×10^-9 Pa・m^3/s 以下
・駆動方式：高精度ステッピングモーター
・動作応答速度：約1.0秒 ～ 2.0秒（全開⇔全閉時）
・ポジション分解能：1,000 ～ 10,000ステップ（接続するコントローラに依存）
・本体主要材質：アルミニウム合金（表面処理済）またはステンレス鋼
・許容使用温度範囲（バルブ本体）：最大120℃ ～ 150℃（装着されているOリング材質等により変動）
・最大許容差圧：1 bar（100,000 Pa）
・制御インターフェース対応：RS-232C、RS-485、DeviceNet、アナログ信号（0-10V）等
※上記は同等クラスの製品群における代表的な参考仕様です。実際の接続フランジサイズ（NW / ISO-K / CF等）や細かなパラメーターは、本個体の構成および搭載されているオプションにより異なる場合があります。用途に応じた適合性については現品の各種寸法等をご参照ください。