中古機 イオン電源 COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION製、型式ID3500／2002-004-Aのご紹介

【AIによる装置概要】
イオンビームエッチング（IBE）やイオンビームスパッタリング（IBS）などの薄膜形成・表面処理プロセスで使用される、グリッド付きイオン源（カウフマン型イオンソースなど）を駆動するための総合電源ユニットです。真空チャンバー内で安定したイオンビームの生成と引き出しを行うため、イオン源の動作に必要とされる複数の独立した電力供給モジュールを1つのシャーシ内に統合しています。

フロントパネルには、ビーム、アクセラレーター、放電（ディスチャージ）、カソード、ニュートラライザーの各セクションの出力状態（電圧および電流）をリアルタイムで監視できるデジタルメーターが配置されています。各パラメータは独立して微調整が可能であり、対象プロセスに応じた最適なプラズマ密度やイオンビームエネルギーの精密な制御を容易に行うことができます。

本機は特定のアセンブリ構成（2002-004-A等）に基づいて組み上げられており、主に研究開発向けデバイスの試作や、小規模な生産ラインにおけるイオンビーム装置のコアコンポーネントとして機能します。既存の物理蒸着（PVD）装置やエッチングシステムの保守、修理、または安定性向上のための電源リプレイスメント用途として活用される、産業用・研究用の高精度電源装置です。

【AIによる参考仕様】
・装置区分：イオン源用総合電源（Ion Drive Power Supply）
・対象イオン源：カウフマン型（グリッド付き）イオンソース等
・パネル表示：デジタルメーター（各出力チャンネルの電圧・電流モニタリング用）
・出力チャンネル構成（同シリーズの標準的な仕様に基づく参考値）：
　- ビーム（Beam）：電圧 0〜1500 VDC / 電流 0〜500 mA
　- アクセラレーター（Accelerator）：電圧 0〜500 VDC
　- 放電（Discharge）：電圧 0〜80 VDC / 電流 0〜10 A
　- カソード（Cathode）：電流 0〜15 A
　- ニュートラライザー（Neutralizer）：電流 0〜15 A
・制御方式：フロントパネルツマミによるマニュアル独立制御、およびリアパネルI/O経由のリモート制御
・入力電源仕様：208 VAC, 50/60 Hz
・冷却方式：強制空冷（内蔵冷却ファン）

※上記は当該モデルにおける代表的なスペックに基づいた参考数値です。本機のアセンブリ番号（2002-004-A）や前所有者のカスタマイズ履歴、接続されていたイオン源のサイズ（3cm、8cm等）により、実際の出力上限値やインターフェース構成が異なる場合があります。実運用前に各モジュールの定格をご確認ください。