中古機 抵抗加熱電源 アネルバ　ANELVA製、型式のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空蒸着プロセスにおいて、チャンバー内に設置された抵抗加熱式蒸着源（タングステンボート、フィラメント、ルツボなど）に安定した電力を供給するための専用電源ユニットです。抵抗加熱蒸着は、低電圧かつ大電流をヒーターに印加してジュール熱を発生させ、金属や酸化物などの蒸着材料を溶融・気化させる手法であり、本装置はその加熱コントロールの中核を担います。

堅牢な回路設計と精密な出力制御により、長時間の成膜プロセスにおいても出力変動を最小限に抑え、高い再現性と安定した蒸発レートの維持をサポートします。また、真空装置本体との連動を想定した外部インターロック端子や、過電流・異常過熱を検知して出力を遮断する保護回路を標準搭載しており、オペレーターおよび設備の安全性を確保するよう設計されています。基礎研究や材料開発用の小型実験機から、電子部品、光学薄膜などの量産用真空装置まで、幅広い成膜プロセスでの組み込みや保守交換に適した信頼性の高いコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
出力制御方式：サイリスタ位相制御（または可変変圧器制御）
定格出力電圧：AC 0〜10 V または 0〜20 V（モデル・結線により変動）
定格出力電流：最大 100 A / 200 A / 300 A（対象モデルの容量に依存）
定格出力電力：1.0 kVA / 2.0 kVA / 3.0 kVA クラス
出力系統数：1系統（外部セレクタスイッチによる複数蒸着源への切替対応）
冷却方式：強制空冷 または 自然空冷
入力電源：単相 AC 100V または AC 200V, 50/60Hz
安全・保護機能：過電流保護（サーキットブレーカー）、真空度・冷却水異常連動インターロック入力端子
フロントパネル装備：出力電流計、出力電圧計、出力調整ダイヤル、主電源スイッチ