中古機 プラズマドライクリーナー ヤマト科学　Yamato製、型式PDC200のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、低圧環境下における高周波放電を利用して低温プラズマを発生させ、試料表面のクリーニングや表面改質を行う卓上型のプラズマドライクリーナーです。発振周波数は工業用ISM帯である13.56MHzを採用しており、高周波出力は最大50Wまで調整可能です。対象物の材質や処理目的に合わせて、プラズマ強度を柔軟に設定することができます。

主な用途として、電子顕微鏡（SEM/TEM）観察前の試料に付着した微量な有機物汚れのアッシング（灰化）除去や、ガラス基板、PDMS（ポリジメチルシロキサン）、各種高分子材料の表面親水化処理、接合・接着性向上のための前処理に広く活用されています。低温でのプラズマ処理であるため、熱ダメージに弱い樹脂材料や精密な電子部品に対しても、試料自体を大きく損傷させることなく表面処理が可能です。

同シリーズの複数型式が存在する中で、本機はニードルバルブによる手動のガス導入調整やアナログ式メーターを主体としたベーシックな構成を採用しています。大気を導入するエアプラズマ処理のほか、ボンベを接続してアルゴン（Ar）や酸素（O2）などの専用ガスを用いた処理にも対応します。直感的な操作性を備え、基礎研究から製造現場における品質管理の前処理工程まで、多様な用途に適応する設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・プラズマ発生方式：高周波（RF）放電方式
・発振周波数：13.56 MHz
・高周波出力：最大 50 W（出力可変）
・反応チャンバー：硬質ガラス製（円筒型）
・ガス導入方式：ニードルバルブによる手動流量調整
・真空測定：アナログ真空計
・対応ガス：大気（空気）、アルゴン（Ar）、酸素（O2）等 ※腐食性ガスは使用不可
・電源電圧：AC100V
・必須周辺機器：装置の稼働には別途、適正な排気速度と到達圧力（通常10Pa以下）を持つ真空ポンプ（油回転真空ポンプやドライポンプ等）の接続が必要です。