中古SEM試料コーター（イオンコーター・カーボンコーター）の在庫・価格

SEM試料コーターは、走査電子顕微鏡(SEM)で観察する試料の表面に、電気を通す薄い膜を付けるための小型の真空装置で、イオンコーター(スパッタコーター)とカーボンコーターがここに入る。プラスチックや生物試料、セラミックスなど電気を通しにくい試料に電子線を当てると、表面に電荷が溜まって像が明るく光ったり流れたりする(チャージアップ)。表面を金属や炭素の薄い膜で覆うと電荷が逃げ、像が安定する。金属の膜には二次電子が出やすくなり、像が鮮明になる効果もある。電子線による試料の傷みを和らげる働きもある。
イオンコーターは、低い真空の中で放電を起こし、金や白金、白金パラジウムなどのターゲットをスパッタして試料に付ける。粗引き用の油回転ポンプだけで動く物が多く、操作が簡単で短い時間で処理できるため、SEMの横に置かれる定番の前処理装置になっている。磁石を使ったマグネトロン方式は試料の温度上昇を抑えられ、熱に弱い試料に向く。膜の粒子がより細かい白金系の材料や、細かな膜厚の制御は、高い倍率での観察で効いてくる。
カーボンコーターは、炭素の棒や炭素の糸に電流を流して加熱し、蒸発した炭素を試料に付ける。エネルギー分散型X線分析(EDS)や電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)で元素を調べるときは、金属の膜が自身のX線を出して分析の邪魔になるため、軽い元素である炭素の膜が使われる。透過電子顕微鏡(TEM)で使う支持膜作りにも使われる。炭素の蒸着はイオンコーターより高い真空を要することが多く、ターボ分子ポンプなどを組み合わせた機種もある。
二つの使い分けは、観察だけか元素分析もするかでほぼ決まる。形を観察するならイオンコーター、組成を調べるならカーボンコーターが基本になる。両方の機能を一台にまとめた機種や、スパッタのターゲットを付け替えられる機種もある。このほか、オスミウムの膜を付けるオスミウムコーターや、プラズマで試料の汚れを除くクリーナーも、SEMの前処理で使われる装置として並べて検討されることが多い。どの装置も、試料を載せて排気し、膜を付けて大気に戻すまでの手順は似ているが、必要な真空の度合いと消耗品が違う。
選ぶときは、使うSEMの試料台の大きさと高さに合うか、ターゲットや炭素の消耗品が今も手に入るか、膜厚を時間で管理するか膜厚計で管理するかを見る。研究室の共用設備では、試料の出し入れと排気にかかる時間も使い勝手を左右する。