中古機 ビューポートシャッター その他製、型式のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空チャンバーに設置された観察窓（ビューポート）を、蒸着プロセスやスパッタリングプロセスなどで発生する成膜材料の飛散物から保護するための開閉式シャッター機構です。チャンバー内の光学測定や目視観察を行う際のみシャッターを開放することで、ガラス面への膜付着による透過率の低下を防ぎ、長期間にわたってクリアな視界と安定した測定環境を維持します。

駆動部には回転導入機構が採用されており、大気側からロータリーノブを操作することで、真空を破ることなくスムーズなシャッターの開閉が可能です。機構部のシールには金属ベローズなどが用いられており、外部からの微小なリークを防ぐ堅牢な設計となっています。1.0 × 10⁻⁸ Paクラスの超高真空（UHV）環境にも対応できる高い気密性を保持しているほか、最大250℃程度のベーキング処理（加熱脱ガス処理）にも耐えうる仕様となっており、コンタミネーションの排除が求められる厳格な真空プロセスにも幅広く導入いただけます。

【AIによる参考仕様】
適用フランジ規格：ICFフランジ（コンフラットフランジ）
対応圧力範囲：大気圧 ～ 1.0 × 10⁻⁸ Pa（超高真空対応）
許容リークレート：1.0 × 10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
最高ベーキング温度：250 ℃（駆動部含む）
駆動方式：手動回転式（ロータリーノブ駆動）
シャッター開閉角度：約 90 度
駆動部シール方式：金属ベローズシール
主要構成材質：SUS304（ステンレス鋼）