中古ビューポートシャッターの在庫・価格

ビューポートシャッターは、真空チャンバーの覗き窓(ビューポート)とチャンバー側の接続フランジの間に挟んで使う、遮蔽板の付いた小型のコンポーネントである。真空容器はステンレス製で中が見えないため、内部を観察したり光を出し入れしたりするにはガラスや石英の窓を使う。ところが蒸着、スパッタリング、MBE、CVDなどの成膜プロセスでは、蒸発物や反応生成物が窓の内面に少しずつ付着し、透過率が落ちて内部が見えなくなる。付いた膜は大気開放後に削り落とすか薬品で除去する必要があり、強固な膜では窓ごと交換することもある。観察しない間はシャッターを閉じて窓の代わりに遮蔽板で膜を受け、必要なときだけ開けば、こうした保守作業を大きく減らせる。
構造は、両面にナイフエッジを持つ貫通型のCF(ICF)フランジの内側に遮蔽板(フラップ)を置き、フランジ側面の回転導入機で板を回す形が一般的である。約90度旋回して開閉するフラッパー式が主流で、全開にすると視野をほとんど遮らない。板を動かす空間が要らないスライド式もある。回転導入には、大気側と真空側の磁石を隔壁越しに結合するマグネットカップリング式が多い。軸シールが無いため超高真空や極高真空でも使える。磁場を嫌う用途では、溶接ベローズで封止した導入機が選ばれる。操作は手動ノブが基本で、遠隔操作やシーケンス制御が必要な場合は圧空駆動や位置検出スイッチ付きのものを使う。
仕様の目安は次のとおりである。対応フランジは外径70〜203mm(呼び径DN40〜DN160)程度、主な材質はSUS304、ベーキング温度は150〜250℃程度、ヘリウムリーク量は10^-11 Pa·m³/s台以下が典型的である。より高温のベーク用に、260℃程度に耐える導入機を選べる例もある。圧空駆動ではアクチュエーター部の許容温度が60℃程度にとどまるため、ベーキング時には取り外すか断熱する段取りを考えておく。
実務で重要になるのは、閉じたときの隙間の大きさである。蒸気圧の高い材料を扱う場合や回り込みの多い成膜では、隙間の少ない全閉型を選ぶとよい。成膜中もその場で目視したい場合は、フラップと窓の間に交換用のシールドガラスを入れ、汚れたらそのガラスだけを替える運用が効果的である。閉め忘れを防ぐため、ばねで自動的に閉じるノーマルクローズ型や、開閉位置を固定するロック機構を持つものもある。
主な用途は、真空蒸着、スパッタ、MBE、CVD装置の観察窓の保護である。そのほか、光学計測用の窓の保護、RHEEDスクリーンの保護、強い光やレーザーの遮断にも使われる。取り付けるときは、フラップの旋回範囲がチャンバー内の部品と干渉しないか、導入機が操作しやすい向きに来るかを確認しておきたい。