中古アドソーバーの在庫・価格

アドソーバーは、クライオポンプやGM型などの極低温冷凍機を駆動するヘリウムコンプレッサーユニットに組み込まれる油吸着器である。真空ポンプのカテゴリに分類されるが、ガスを排気する機器ではない。冷媒として循環するヘリウムガスから圧縮機由来の油分を取り除く、交換式の精製カートリッジにあたる。
ヘリウムコンプレッサーでは、スクロール式やロータリー式などの油潤滑型圧縮機が多く使われている。油は潤滑と圧縮熱の除去を兼ねるため、圧縮後のヘリウムガスには油ミストや油蒸気が混じる。この油分がコールドヘッドに届くと、極低温部で固化し、ディスプレーサーや蓄冷材の流路に付着する。その結果、冷凍能力が下がり、到達温度が上がる。クライオポンプなら排気速度や到達圧力が悪化し、冷凍機のオーバーホールが必要になることもある。
そのため、ユニット内では熱交換器で冷やした高圧ガスを、まずオイルセパレーターに通して液状の油の大部分を分離する。アドソーバーはその下流、供給ラインの最終段に置かれ、セパレーターで取りきれない微量の油蒸気やミストを吸着して除去する。中身は比表面積の大きい多孔質の吸着材で、活性炭が中心である。製品によっては水分や他の不純物を除くための吸着材やフィルターを組み合わせている。外装は高圧に耐える円筒容器で、両端にヘリウム配管用の継手を備える。
吸着材は使うほど飽和する。飽和を超えて使い続けると、除去しきれなくなった油が冷凍機側へ流出(破過)する。このため、交換時期は外観や性能から判断せず、コンプレッサーの積算運転時間計を基準に計画的に管理するのが原則である。交換周期は機種ごとに取扱説明書で定められており、一般には数万時間程度の運転時間ごとに設定されることが多い。メーカーの保守案内でも、コンプレッサー側の定期保守の中心はアドソーバー交換とされている。
交換品は、内部に高純度ヘリウムを封入した状態で供給されるのが一般的である。継手部のパッキンの状態と異物の有無を確認し、シール面を清掃してから取り付ける。取り付け後は接続部のリークテストを行い、充填圧力が規定値に達しているかを確認する。不足していれば高純度ヘリウムを補充し、交換日と積算時間を記録しておく。この一連の手順が実務上の基本になる。
用途は、ヘリウムコンプレッサーを使うシステム全般の保守部品である。具体的には、半導体製造のスパッタリングやイオン注入装置、成膜装置、加速器や表面分析装置などの超高真空排気用クライオポンプが挙げられる。加えて、研究用の極低温冷凍機、クライオスタット、超電導機器の冷却系にも使われる。
選定や中古品の調達で最初に確かめるべきなのは、対象コンプレッサーとの適合である。同じ外形でも、継手の規格、取付金具、ヘリウム流量に応じた容量が機種ごとに異なり、仕向け地や規格対応の違いで派生型が用意されていることもある。未使用品であっても、封入圧力が保たれているか、製造からの経過年数、保管状態を確認したい。使用済みのアドソーバーは吸着した油分を含むため、自分で再生せず、メーカーの回収や指定の処理方法に従うのが一般的である。