中古 アルバック Ulvac アドソーバー

本製品は、高真空および超高真空プロセスに不可欠なクライオポンプシステムにおいて、ヘリウムコンプレッサユニットに接続または内蔵して使用される吸着器（アドソーバー）です。コンプレッサ内部で圧縮されたヘリウムガス中には、冷却および潤滑目的で使用される油分（オイルミスト）がわずかに含まれる場合があります。これらのオイルミストや微細な不純物がクライオポンプの膨張機（コールドヘッド）へ流入すると、極低温環境を生成する冷凍機の冷却能力低下や、動作不良などの重大なトラブルを引き起こす原因となります。

本装置は、内部に高密度で充填された特殊活性炭などの吸着材を利用し、圧縮ヘリウムガス中のオイルミストや不純物ガスを物理的かつ高効率に吸着・分離します。これにより、純度99.999%以上の極めてクリーンなヘリウムガスのみをクライオポンプへ供給する中核的な役割を担います。定期交換部品として設計されており、一般的な代表機種では約30,000時間の連続運転が推奨交換目安とされています。適切なタイミングでのメンテナンスを行うことで、クライオポンプシステム全体の長期的な安定稼働と高い排気性能の維持に貢献する重要なコンポーネントです。