中古真空フランジ・ビューポート・真空配管部品の在庫・価格

真空フランジ・ビューポート・真空配管部品は、真空チャンバーとポンプ、計測器、導入機などをつなぎ、外から中を見たり、電気を通したりするための部品の分野である。一つ一つは単純な部品だが、どこか一か所でも漏れがあれば装置全体が目的の圧力に届かないため、規格と状態がそろっていることが何より大切になる。
部品同士をつなぐのが真空フランジである。代表的な規格には、ナイフエッジで銅ガスケットを押しつぶして封じるICF(コンフラット)、OリングとセンタリングリングをクランプでとめるKF(NW)、口径の大きな配管に使うISO、国内の装置に多いJIS規格のフランジがある。超高真空やベーキングが要るならICF、着脱の多い粗引きや高真空の配管ならKFというように、到達させたい圧力と使い方で選ばれる。配管の口をふさぐブランクフランジや、振動や取付けのずれを吸収するベローズのフレキシブルホースも、この分野の基本的な部品である。フランジの間に挟むガスケットやOリング、センタリングリング、クランプ、ボルト類は消耗品として扱われ、付け外しのたびに替えることが多い。
ビューポートは、フランジに窓材を封じ付けた覗き窓で、プラズマの様子や試料の位置を見たり、光を出し入れしたりするのに使う。窓材にはガラスのほか、紫外まで光を通す石英や、硬く熱に強いサファイアなどがあり、見る光の波長や温度で選び分ける。蒸着やスパッタでは窓に膜が付いて曇るため、使わないときに窓を覆うビューポートシャッターを組み合わせる。真空容器の外から試料を加熱するための光や、レーザーを通す窓として使う場合は、窓材の厚みや反射を抑える膜の有無も性能に関わる。
電流導入端子は、セラミックスと金属を封着した端子で、真空を保ったまま電源や信号、熱電対の線をチャンバーの中へ通す部品である。大電流用、高電圧用、多ピンの信号用、熱電対用など用途ごとに形が分かれている。チャンバーの側面や前面に付くアクセスドア(クイックエントリードア)は、蝶番とOリングで手早く開け閉めでき、試料の出し入れや内部の手入れの多い装置で使われる。
選ぶときは、まず相手側のフランジの規格と呼び径を決め、そのうえで用途に合う窓材や端子の定格、ベーキングの温度に耐えるかを確かめる。シール面の傷や窓の曇り、端子の封着部の割れは中古で目につきやすい傷みなので、到達させたい圧力に対して許せる状態かを見極めることが要点になる。中古では規格品のフランジや窓が単品で流通することも多く、装置の補修や自作の実験装置の部材として手に入れやすい。