中古ブランクフランジの在庫・価格

ブランクフランジは、中心に穴が開いていない円板状の真空フランジです。チャンバーや配管の開口部をふさいで真空を保つための基本部品で、規格フランジと同じ外径・ボルト穴配置・シール面を持っています。そのため、相手側のポートと同じ規格・同じサイズのものを選べば、ガスケットやOリングを挟んで締結するだけで開口部を閉じられます。
仕組みは規格ごとのシール方式に従います。NW(ISO-KF)系はOリング付きのセンターリングとクランプで締結し、着脱が簡単です。主に低真空から10^-6 Pa程度の高真空までで使われ、ベーキングは一般に80〜150℃(最大200℃程度)、リークレートは10^-9 Pa·m3/s以下(Oリングのガス透過を除く)が目安です。大口径向けのISO-KはNW63〜630程度まであり、爪クランプ式とボルト式があります。国内ではJIS B 2290のVG(Oリング溝あり)とVF(溝なし)も使われ、相手側のフランジに合わせて溝の有無を選びます。
超高真空用のICF(ConFlat系)は、フランジ両面のナイフエッジで無酸素銅のガスケットに食い込ませる金属シールです。10^-10 Pa以下の圧力に対応し、−196℃から+450℃までリークが出ないとされます。国内規格はJVIS003で外径34〜305を定め、国際規格のISO 3669とはガスケットが入る部分の寸法がわずかに違いますが、実用上は問題になりません。一方、406や456の大口径には統一規格がないため、相手側の寸法を確認する必要があります。ガスケットは基本的に使い捨てで、用途によってアルミやニッケルも使われます。
設計上の要点は、大気圧による荷重です。閉じた面全体に約0.1 MPaがかかるため、内径150 mmなら約1.8 kN、内径400 mmなら約13 kNの力を受けます。板厚が足りないとたわんでシール面の面圧が不均一になるので、大口径ほど厚いものを使います。材質はSUS304が一般的で、腐食性ガスを扱うプロセスではSUS316L、KF系では軽量なアルミ製も使われます。超高真空では、内面の電解研磨や真空焼鈍によって放出ガス(特に水素)を減らしたものが選ばれることがあります。
実務では次の点を確認します。ICF系は締結用のボルト穴が貫通穴(キリ穴)かタップ穴か。回転フランジにしてボルト穴の位置を合わせやすくするか。ナイフエッジやシール面に傷・打痕がないか。締結時は対角の順に少しずつ均等に締め、ガスケットを片当たりさせないこと。またOリング系では、グリースの塗りすぎやゴミの噛み込みがリークの主な原因になります。締結後はヘリウムリークディテクタで確認するのが一般的です。
用途は、チャンバーの未使用ポートの封止、装置改造や増設に備えた予備ポートの閉止、部品を外したあとの一時的な封止、配管ユニットの輸送・保管中の汚染防止、排気試験や圧力保持試験での端部の閉止など、多岐にわたります。また、ブランクフランジを素材として穴を開け、電流導入端子やビューポート、センサ用のポートを溶接・加工して特注のフランジに仕立てる使い方も多く、研究室から量産装置の現場まで常備品として扱われています。