中古リニアゲージの在庫・価格

リニアゲージは、スピンドル先端の測定子を被測定物に当て、その直線変位を電気的に検出してデジタル値で出力する接触式の変位・寸法センサである。検出器であるゲージヘッドと、パルスを計数して表示・演算・出力を行うカウンタ(表示器)を組み合わせて使うのが基本の構成となる。
検出方式は光電式が代表的である。スピンドルと一緒に動く移動スリットと、位置が固定された固定スリットが向かい合い、その両側にLEDと受光素子が置かれている。スリットには一定ピッチで明暗の目盛があり、スピンドルが動くと透過光が周期的に明暗を繰り返す。固定スリットはA、Bの2組で、BをAから1/4ピッチずらして配置している。これにより位相が90°ずれた2相の信号が得られ、位相の進み・遅れから移動方向を判別して、カウンタが加算・減算する。分解能は目盛ピッチと電気的な分割数の組み合わせで決まる。たとえば信号周期4μmのセンサを4逓倍すれば1μm分解能になる。さらに高分解能の機種では、正弦波信号を内挿回路で細かく分割する。光電式のほかに磁気式などの検出方式もある。
典型的な仕様は、測定範囲が数mmから数十mm(長いもので100mm程度)、分解能が10μm、1μm、0.1μm程度の段階に分かれる。測定力はばねで与える方式が一般的で、おおむね1〜数N程度。ダイヤルゲージと比べると、読み取りの個人差が出ず、測定値をそのまま外部機器に送れる点が大きな利点である。カウンタには、任意の位置でのゼロセット、プリセット、計数方向の切り換え、最大値・最小値・振れ幅(TIR)のホールド、公差設定による合否・選別判定といった機能がある。出力形式もオープンコレクタ、BCD、RS-232Cから、CC-LinkやEtherNet/IPなどの産業用ネットワークまで幅広い。
用途は、部品の厚さ・段差・高さ・穴深さの測定、回転軸の振れや偏心の測定、平面度・平行度・直角度の検査、ステージの位置決め確認、材料試験での荷重変位の計測などである。2台以上のヘッドの値を和差演算して厚さや段差を求めたり、多点を同時に測って合否を判定する検査ステーションや自動機に組み込んだりする使い方が多い。研究室でも、試験機や実験装置の変位をデータ収録する手段として手軽に使える。
実務上の注意点を挙げる。まず、ゲージは測定面に垂直に取り付ける。傾けて取り付けると誤差が生じる。ステムを強く締め過ぎると摺動不良の原因になるため、割り締めなど適切な方法で固定し、ケーブルからヘッドに力がかからないように配線する。ストローク端付近を精度保証範囲外としている機種もあるので、スピンドルを少し押し込んだ位置で基準を取るのが無難である。軟らかい材料や薄物では、測定力による変形がそのまま誤差になるため、測定力の小さい機種を選ぶ。切削油や粉塵のある現場では保護等級の高い防塵・防水型を選び、測定子の摩耗や摺動耐久回数も保守計画に組み込んでおくとよい。