中古直線導入機の在庫・価格

直線導入機は、真空チャンバーの外の大気側から行う直進操作を、真空を保ったまま内部の機器へ伝える部品です。モーションフィードスルーの一種で、試料・基板の出し入れ、ステージの昇降、プローブやシャッターの位置決めなどに使います。導入機の性能は、可動部をどう封止するかでほぼ決まります。代表的な方式はベローズシール式、磁気結合式、Oリングを使う方式(差動排気付きを含む)の三つです。
ベローズシール式は、溶接ベローズや成形ベローズで真空側と大気側を完全に仕切り、ベローズの伸び縮みで軸を直進させます。摺動するシールが無いので操作中にリークしにくく、オールメタルで組めば250〜300℃程度のベーキングにも耐えます。そのため10^-8 Pa以下の超高真空でも使え、許容リーク量は10^-11 Pa・m3/s程度という仕様が一般的です。駆動には送りねじを使い、ハンドル1回転で1 mm前後進むものが多く、バックラッシュは±0.5 mm程度です。直進力は百数十〜二百N程度が目安で、ストロークは小型品で数十mm、規格品でおおむね10〜200 mmです。ストロークが長くなるほどベローズの縮んだ長さと外径が大きくなり、取付け長さも増えます。
磁気結合式は、大気側の磁石ユニットと、真空側にある磁性材料の移動子を薄肉の管越しに結合させて動かします。封止部が溶接管だけなので長いストロークがとりやすく、規格品で100〜500 mm程度、1 m級の製品もあります。直進と回転を一本で兼ねる構成も多く、試料を搬送するトランスファーロッドとしてよく使われます。一方、伝えられる力は数十N以下と小さく、軽い負荷向けです。過負荷になると磁気結合が外れて滑ることがあり、ベーキングは磁石ユニットを外して200℃程度までが目安です。Oリング方式はKFフランジ品などに多く、安価で扱いやすい反面、ベーキング温度は100℃前後、到達圧力は10^-6 Pa程度までが目安になります。
選ぶときの実務上の要点はいくつかあります。まず大気圧による推力です。ベローズ式では、有効断面積に大気圧がかかって軸が真空側へ引き込まれます。有効径が30 mm程度でも約70 Nに達するので、ねじ部や外部アクチュエータの容量、停止位置の保持方法はこの力を見込んで決めます。次にベローズの寿命です。ベローズの寿命は伸縮回数とストロークの使い方で変わるため、繰返し動作の多い自動化用途では寿命回数の仕様を確認します。横荷重やねじりもベローズを傷めるので、長い軸の先に重い物を付けるなら、真空側のガイドや回り止めを検討します。さらに、電子線やイオンビームを扱う装置では非磁性材料かどうか、ステッピングモーターなどで自動化するなら駆動部の取付け互換性や原点検出の有無も確認します。
主な用途は、成膜装置や表面分析装置での試料導入と搬送、基板ステージの昇降、ウェハー搬送、蒸着源シャッターの開閉、膜厚計やファラデーカップの出し入れです。加速器のビームラインでは、スクリーンモニターやワイヤースキャナーなどのビーム診断機器、コリメーターの挿入にも使われます。必要なストローク、推力、到達圧力、ベーキング条件、操作の頻度を整理すれば、封止方式と規格サイズはおおむね絞り込めます。