中古電流導入端子の在庫・価格

電流導入端子(フィードスルー、気密端子)は、真空容器の壁を貫通させて電力や信号を内部へ導くための部品で、容器の気密を保つことと、導体と容器(通常は接地電位)との電気絶縁を両立させることが基本機能となる。ヒーターや蒸発源への給電、電極へのバイアス印加、センサー信号の取り出しなど、真空装置のほぼすべてで何らかの形で使われている。
構造は、導体となる電極、それを支える絶縁体、絶縁体を容器側へ接合する金属部品(スリーブ)、取付用のフランジまたは溶接用の管体で構成される。高真空から超高真空用では高純度アルミナセラミックスの絶縁体が主流で、セラミックと金属はメタライズ後のろう付けで接合される。セラミックとステンレスでは熱膨張係数が大きく違うため、膨張率の近いコバールなどのスリーブを間にはさんで熱応力を逃がす構成が一般的である。このほかガラス封止型や、低温用途向けに樹脂(エポキシ)封止型もあるが、樹脂型の使用温度は概ね150℃前後までに限られる。電極材には、大電流向けに無酸素銅、用途に応じてニッケル、ステンレス、モリブデンなどが使われる。取付はICF(CF)系のメタルシールフランジが標準的で、KF系フランジ付きや、容器に直接溶接するタイプもある。
仕様の目安としては、セラミック封止品ではヘリウムリークレートが1×10^-10 Pa・m3/s台以下(1×10^-9 mbar・L/s相当以下)、使用温度は-100℃から450℃程度で、超高真空装置のベーキングにも耐える。大気側コネクタは耐熱性が低いことが多く、ベーキング時は外すのが通例である。電気的仕様は品種によって幅が広く、耐電圧はDC数百Vから数十kV、電流容量は1本あたり数Aから数百A、大電流品では800A級まである。
種類は、用途別に大電流用、多ピンの小電流・信号用、高電圧用、BNCやSHVなど同軸コネクタ付きのRF・計測信号用、熱電対用に分かれる。熱電対用は、電極を熱電対素線と同じ材質(クロメル、アルメルなど)にして、接点で余計な熱起電力が生じないようにしてある。
実務上の要点は次のとおり。第一に、真空中では対流による冷却が効かないため、電流容量には余裕を持たせ、真空側の配線や圧着部の発熱も含めて温度上昇を見積もる。第二に、高電圧用では大気側の沿面距離と表面の汚れ・湿気による漏れ電流に注意し、真空側では圧力によって放電しやすさが変わる点も考える。パッシェンの法則により、数Paから数百Pa程度の中真空域では低い電圧でも放電が起こりやすいため、排気途中やガス導入プロセスでの電圧印加には注意が要る。第三に、セラミックは曲げやねじり、熱衝撃に弱いので、端子ナットの締め付けやケーブルの重みで電極に力をかけないようにし、ベーキングの昇温・降温は緩やかにする。RF用途では、周波数に応じたインピーダンス整合と、損失の小さい絶縁体を選ぶことも必要になる。
用途は、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、ドライエッチング装置などの半導体製造装置、電子顕微鏡や表面分析装置、加速器やプラズマ実験装置、真空炉や熱処理装置、電子管・ランプの製造などで、研究用から量産用まで幅広い。