中古 SMC L型バルブ XLC-50-F9NA
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- メーカー
- SMC
- 型式
- XLC-50-F9NA
- 機種
- L型バルブ
- 管理番号
- Z18021407
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 現品の型式表示 | XLC-50-F9-NA(SMC) |
|---|
XLC-50-F9NA の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 形式 | 高真空アングルバルブ(複動式・ベローズシール) |
|---|---|
| 駆動 | 空気圧(パイロットポートへの給気でピストン連結の弁体が動く) |
| ボディ材質 | アルミニウム |
| 標準シール材 | FKM(フッ素ゴム)、ほか8種類のシール材を選択可 |
| 特長 | 低スパッタ率・重金属フリーでウェハ汚染を避けられる。ベローズは交換式 |
| 付属 | オートスイッチ2個(現品写真で確認) |
出典: smcusa.com、現品の銘板
SMC XLC-50-F9NA の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造装置や各種真空排気システムなどの高真空環境で広く使用されるアルミニウム合金製の高真空アングルバルブ（L型バルブ）です。圧縮空気を用いてバルブの開閉を行うエアオペレート形であり、空気圧によって開・閉の両方向を制御する「複動式」の作動機構を採用しています。
ボディには軽量かつコンパクトなアルミニウム合金を使用し、表面には特殊なハードアルマイト処理が施されています。これにより、従来のステンレス鋼製バルブと比較して大幅な軽量化を実現するとともに、金属表面からのアウトガス発生を極めて低く抑え、真空チャンバー内の清浄度維持と真空排気時間の短縮に寄与します。バルブ内部の弁座および外部のシール材にはFKM（フッ素ゴム）製のOリングを採用しており、大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域において、1.3×10^-10 Pa・m^3/s以下の優れたシール性能（低リーク量）を維持します。
配管接続部は汎用性の高いKF50（NW50）フランジ規格に対応しており、バルブ全開時のコンダクタンスは80 L/sを確保しています。また、本仕様は耐水性を向上させた無接点オートスイッチ（NPN出力・3線式）を標準で搭載しているのが特徴です。これにより、バルブの正確な開閉状態を電気信号として外部に出力でき、各種装置のシーケンス制御や自動化ラインへの組み込みが容易に行える設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。