中古 松下 ヘパフィルター BV-R100CRF-T

クリーンルーム機器は、空気中の微粒子(パーティクル)や微生物を決められた水準に保つための設備と、その中で働くための道具をまとめた分野。半導体・電子部品・精密機械の製造現場のほか、医薬品の製造、細胞培養や再生医療の研究室、大学の微細加工施設などで使われる。清浄度は ISO 14644-1 のクラスや、米国の旧連邦規格に由来する「クラス100」「クラス1000」といった呼び方で表され、目標とする清浄度によって必要な機器の組み合わせが変わる。
中心になるのは空気を清浄にする機器である。ファンフィルターユニット(FFU)は送風機とHEPAフィルターまたはULPAフィルターを一体にした装置で、天井に並べて清浄な空気を下向きに吹き出し、部屋全体の清浄度を作る。FFUを使わず、空調機から送った空気を天井の吹出し口に付けたフィルターで清浄にする方式もある。部屋全体ではなく作業面だけを清浄にしたいときはクリーンベンチを使い、病原体などから作業者も守る必要がある生物系の作業では、前面の吸い込み気流と排気のフィルターを持つ安全キャビネットが選ばれる。クリーンベンチは試料を守り、安全キャビネットは試料と作業者と環境を守るという違いがあり、用途を取り違えないことが大切だ。
人と物の出入りで持ち込まれる汚れを抑える機器もこの分野に入る。エアーシャワーは入室前の作業者の衣服に付いた塵を清浄な高速の空気で吹き払う前室の装置で、パスボックスは部屋の間で物だけを受け渡すための扉付きの箱である。作業者は発塵の少ないクリーン服(無塵衣)を着て、排気をフィルターで清浄にする専用の掃除機で床や装置のまわりを清掃する。特殊なガスを扱う工程では、緊急時に使う空気呼吸器のような保安用具も運用に欠かせない装備になる。
清浄度を確かめるのが計測の機器である。パーティクルカウンターは光の散乱を使って空気中の粒子を粒径ごとに数え、施工後の検証や日常の監視に使う。微生物を管理する現場では、エアーサンプラーで浮遊菌を捕集して培養する。FFUの交換や増設の後には、吹出しの風速と粒子数を測って所定の清浄度が出ているかを確かめるのが一般的な手順だ。
選び分けの目安は、どの範囲をどの清浄度にしたいかである。部屋全体ならFFUと前室の機器、局所でよければクリーンベンチや安全キャビネット、既存のクリーンルームの維持ならフィルターの交換品や計測器が中心になる。中古で揃える場合は、天井の開口や電源の仕様といった既存の設備との寸法と配線の整合、そしてフィルターの交換時期が、実際の使い勝手を左右する。