中古 Commonwealth Scientific IBSコントローラー IBS-600
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- メーカー
- Commonwealth Scientific
- 型式
- IBS-600
- 機種
- 真空コンポーネント
- 管理番号
- D072079
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
IBS-600 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 対応イオン源 | カウフマン型永久磁石式イオン源(同社 8 cm / 12 cm / 16 cm) |
|---|---|
| ビーム電源 出力電圧 | 50〜2000 VDC |
| ビーム電源 電流範囲 | 0〜600 mA |
| アクセル電源 | 25〜500 VDC / 0〜300 mA |
| 放電電源 | 20〜70 VDC / 0〜10 A |
| カソードフィラメント電源 | 4〜30(電流制御、出力周波数50 kHz、最大25 VAC rms) A AC rms |
| ニュートラライザ電源 | 3〜20(電流制御、出力周波数50 kHz、最大20 VAC rms) A AC rms |
| マグネット電源 | 0.5〜5 A(最大25 V) |
| プローブ電源 | 35 VDC固定 / 0〜20 mA |
| レシピ記憶数 | 99 組 |
| 遠隔操作 | RS-232(パソコン)/別売ハンドヘルド端末 |
| 入力電源 | 208 / 220 / 240 VAC、50/60 Hz、16 A(208 V時) |
| 寸法(H×W×D) | 7 × 19 × 19.25(約178 × 483 × 489 mm) inch |
| 質量 | 44 lbs(約20) kg |
| 冷却・取付 | 強制空冷・EIAラック搭載 |
※仕様は社内保管の取扱説明書「IBS-600 F-Series Power Supply」(Commonwealth Scientific、1992年版・1998年改訂)によります。掲載の型式「TBS-600」と完全に同一機種かは銘板で未確認です。
※IBS-600 には F-Series 以外の世代・仕様違いがある可能性があり、現品の出力範囲は銘板・取扱説明書で要確認です。
※入力電源は工場出荷時に 208 VAC(8 cm イオン源用)または 240 VAC(その他)に設定されており、現品の設定電圧は要確認です。
※イオン源本体・ハンドヘルド端末・接続ケーブルは別品で、付属の有無は現品によります。
出典: メーカー資料
Commonwealth Scientific IBS-600 の装置概要 AIによる記述です
カウフマン型(永久磁石式)のグリッド付きイオンビーム源を駆動するための、マイクロプロセッサ制御のスイッチング電源兼コントローラーです。イオンビームスパッタ(IBS)やイオンビームエッチング・アシスト成膜の装置で、イオン源の放電・引き出し・中和を一括して制御する用途に使われます。取扱説明書の記載では、同社の8 cm、12 cm、16 cm イオン源に対応し、最大2000 eVのイオンを600 mAのビーム電流で取り出せます。
内部にはビーム電源(50〜2000 VDC、0〜600 mA)、アクセル電源(25〜500 VDC、0〜300 mA)、放電電源(20〜70 VDC、0〜10 A)、カソードフィラメント電源(4〜30 A AC rms)、ニュートラライザ電源(3〜20 A AC rms)、プローブ電源、マグネット電源が組み込まれ、各電源に過電流保護があります。運転は手動・自動(制限なし)・自動(レシピ限定)の3モードで、自動モードではカソードのフィラメント電流をフィードバック制御して設定したビーム電流を保ちます。運転条件は99組までレシピとして記憶でき、別売のハンドヘルド端末またはRS-232経由のパソコンから遠隔操作・設定ができます。19インチラック搭載型、電源は単相208/220/240 VACです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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