中古 アネルバ ANELVA 抵抗加熱電源

本装置は、真空蒸着プロセスにおいて、チャンバー内に設置された抵抗加熱式蒸着源（タングステンボート、フィラメント、ルツボなど）に安定した電力を供給するための専用電源ユニットです。抵抗加熱蒸着は、低電圧かつ大電流をヒーターに印加してジュール熱を発生させ、金属や酸化物などの蒸着材料を溶融・気化させる手法であり、本装置はその加熱コントロールの中核を担います。

堅牢な回路設計と精密な出力制御により、長時間の成膜プロセスにおいても出力変動を最小限に抑え、高い再現性と安定した蒸発レートの維持をサポートします。また、真空装置本体との連動を想定した外部インターロック端子や、過電流・異常過熱を検知して出力を遮断する保護回路を標準搭載しており、オペレーターおよび設備の安全性を確保するよう設計されています。基礎研究や材料開発用の小型実験機から、電子部品、光学薄膜などの量産用真空装置まで、幅広い成膜プロセスでの組み込みや保守交換に適した信頼性の高いコンポーネントです。