中古 アドバンスドエナジー AE スパークル（アークキラー） Sparc 3152013
本体価格(税別、送料別)100,000円
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- メーカー
- アドバンスドエナジー AE
- 型式
- Sparc 3152013
- 機種
- スパークル（アークキラー）
- 管理番号
- S21010722
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
Sparc 3152013 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | DCスパッタ用 アーク抑制ユニット(Advanced Energy Sparc) |
|---|---|
| 型番 | M/N 3152013-000 B |
| 組合せ | MDXシリーズDC電源と負荷の間に接続(二次情報) |
※型番は現品銘板。出力電力・応答時間・入力電源などの数値仕様は公式データシートが見つからず未確認。
出典: 現品の銘板、ptbsales.com
アドバンスドエナジー AE Sparc 3152013 の装置概要 AIによる記述です
DCマグネトロンスパッタリングで起きるアーク放電を検出し、短い時間で消すためのアーク抑制ユニットです。スパッタ中はターゲット表面の帯電などをきっかけにアーク(異常放電)が起こることがあり、そのままにすると、パーティクルの発生や膜質の低下、ターゲットやカソードの損傷につながります。アークを抑えることで、放電を安定させたまま成膜を続けやすくします。
組み合わせる電源はMDXシリーズなどのDC電源で、電源と負荷(スパッタカソード)の間に接続して使います(二次情報)。型番の表記はM/N 3152013-000 Bです。
出力電力、応答時間、入力電源などの数値の仕様は、公式のデータシートが見つからず確認できていません。組み合わせる電源の型式に合うかどうかは、接続先の電源から確かめる必要があります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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