中古 アドバンスドエナジー AE スパークル（アークキラー） Sparc-le　V

本装置は、DCスパッタリングやプラズマプロセスにおいて発生する異常放電（アーク）を高速に検知・抑制し、プロセスの安定性を飛躍的に向上させるためのアーク消弧（アークキラー）ユニットです。主に最大出力5kWまでのDC電源と真空チャンバー（負荷）の間に直列に接続して運用されます。

反応性スパッタリングなどの成膜プロセスでは、ターゲット表面に絶縁物が蓄積することで局所的なチャージアップが生じ、微小なアーク放電が発生しやすくなります。本機は、回路内の急激な電圧降下や電流スパイクをリアルタイムで監視し、アーク放電を検知すると2マイクロ秒未満という極めて短い時間で電源からのエネルギー供給を遮断（消弧）します。

この高速な遮断動作により、ターゲットの溶融・損傷、基板へのダメージ、およびプラズマ空間へのパーティクル飛散を最小限に抑えることができます。結果として、プロセスの歩留まり向上や長時間の連続安定放電に大きく貢献します。また、アーク検知の感度（トリップレベル）やエネルギー遮断時間（オフタイム）など、プロセス要件に合わせたパラメータ設定機能を備えており、多様な成膜条件に対して柔軟なチューニングが可能です。