中古 アネルバ ANELVA 温度モニター MCT-110

本機は、真空成膜プロセスや熱処理プロセス等において、真空チャンバー内部の基板やヒーターの温度を高精度に測定・監視するために設計された専用モニターユニットです。スパッタリング装置や真空蒸着装置、CVD装置といった薄膜形成システムでは、チャンバー内の輻射熱やプラズマの影響下でも安定した温度モニタリングが求められます。本機は、熱電対等の温度センサーから得られる微小な起電力を正確に増幅・冷接点補正し、プロセス中の温度変動をリアルタイムで把握することが可能です。

フロントパネルには視認性に優れたデジタル表示器が採用されており、装置オペレーターが即座に現在の温度状態を確認できるよう配慮されています。また、プロセス制御をサポートするために、上限・下限の温度アラーム設定機能や、外部機器と連動するためのアナログ信号出力機能を備えています。これにより、シーケンサ（PLC）や他の真空コントローラーと組み合わせた自動制御システムの構築が容易に行えます。

主に既存の真空プロセスの保守・交換部品として、あるいは研究開発用チャンバーへの温度管理機能の増設用途として活用されます。コンパクトな筐体設計により、標準的な計装ラックへの組み込みにも対応し、高い汎用性と長期稼働における信頼性を兼ね備えています。