中古 アネルバ ANELVA 温度モニター MCT-110

真空成膜プロセスや高真空排気システムにおいて、チャンバー内の雰囲気温度や基板ヒーター、ベーキング機構などの温度を精密に監視するための専用モニターです。真空装置における各コンポーネントの正確な温度管理は、形成される薄膜の品質や真空到達圧力、排気効率に直結するため、本ユニットはプロセスの安定性維持に不可欠な役割を果たします。

熱電対をはじめとする各種温度センサーからの入力信号を迅速に処理し、視認性の高いデジタルディスプレイにリアルタイムで現在の測定値を表示します。また、あらかじめ設定した温度の上限値や下限値に対するアラーム接点出力機能を備えており、異常な温度上昇やヒーターの断線などを検知してシステム側に伝達することで、過加熱などのトラブルを未然に防ぐインターロックの構築にも寄与します。

ノイズの多い真空装置の周辺環境でも安定した測定ができるよう設計されており、既存の制御盤や装置ラックへの組み込みも容易です。研究開発用の小型真空システムから量産用の大型スパッタリング装置まで、厳密な温度モニタリングが求められる幅広い用途に適用可能です。