中古 アネルバ ANELVA 温度モニター MCT-110

クライオポンプのコールドヘッド内部の温度を表示する温度計ユニットで、クライオポンプを使う真空装置の操作盤に組み込まれて使われる。表示に加えて2つの温度設定点を持ち、クライオポンプの冷却完了と、再生(活性化)時のウォームアップ完了をそれぞれ信号として装置側の制御へ出力する。同じメーカーのスパッタ装置の取扱説明書では、第一設定を 290 K、第二設定を 20 K として、冷却完了の判定と再生時の昇温完了の判定に使う例が示されている。
単体の取扱説明書や仕様表は今回確認できず、測定範囲・センサーの種類・電源・外形寸法は分かっていない。装置から取り外した組込み用のユニットとして扱い、使用するクライオポンプの温度センサーと接続できるかを現品の銘板と端子で確かめる必要がある。