中古 アネルバ ANELVA クリスタルゲージ M-320XG

クリスタルゲージ（水晶振動式真空計）は、水晶振動子の共振現象を利用して気圧（真空度）を測定する真空コンポーネントです。時計などに広く使われている音叉型の小型水晶振動子がセンサとして用いられています。

測定の仕組み

大気中または真空中に置かれた水晶振動子に交流電圧をかけると、固有の周波数で振動します。このとき、周囲に気体分子が存在すると、分子との衝突によって振動に対して気体粘性抵抗（摩擦力）が発生します。
気圧が高い（真空度が低い）状態では気体分子が多く、振動に対する抵抗が大きくなるため、振動の幅が小さくなったり、電気的なインピーダンス（抵抗値）が変化します。反対に、気圧が低い（真空度が高い）状態では気体分子が少なくなり、抵抗も小さくなります。クリスタルゲージは、この振動状態の変化（共振インピーダンスや振幅の変化）を電気信号として検出・演算することで、圧力を高精度に算出します。

主な特徴

• 広帯域な測定レンジ
• 大気圧（約10の5乗Pa）から高真空領域（10のマイナス2乗〜マイナス3乗Pa程度）までの非常に広い圧力範囲を、単一のセンサでシームレスに測定できます。これにより、広範囲をカバーするために複数の真空計を組み合わせる必要がなくなります。

• 小型・軽量と低発熱
• 水晶振動子自体が数ミリメートル程度と極めて小さいため、センサ部を非常にコンパクトに設計できます。また、高温の熱源（フィラメント）を必要としないため、発熱がほとんどありません。測定対象の気体を熱分解させたり、周囲に熱影響を与えたりするリスクを大幅に低減できます。

• 高耐久性と長寿命
• フィラメントを使用しない構造のため、大気突入による断線トラブルや熱劣化がありません。過酷な環境下でも長寿命であり、メンテナンスの手間やコストを軽減できます。

• 優れた応答性と耐衝撃性
• 圧力の変化に対して電気的変化を直接捉えるため、レスポンスが非常に高速です。また、固体の水晶素子を使用しているため、機械的な振動や衝撃にも強い構造を持っています。

主な用途

• 半導体およびFPD（薄型ディスプレイ）製造装置
• ロードロック室（基板を出し入れする予備真空室）の圧力監視に多用されています。大気圧から高真空への急速な減圧・昇圧プロセスにおいて、広帯域かつ高速レスポンスなクリスタルゲージが威力を発揮します。

• 各種真空プロセス装置
• スパッタリング装置、エッチング装置、CVD装置、真空蒸着装置など、真空環境での薄膜形成や加工を行う装置の排気確認や圧力制御に用いられます。

• 真空熱処理・真空乾燥設備
• 金属の熱処理炉や、薬品・食品の真空乾燥装置において、安定した真空度管理を実現します。フィラメントがないため、オイル蒸気や反応性気体が存在する環境でも安心して使用できます。

• 分析機器および理化学機器
• 電子顕微鏡や質量分析計など、内部を安定した真空状態に保つ必要がある精密機器の排気系モニタリング用として、装置内部に組み込まれています。