中古 アルバック Ulvac ペニングゲージ GI-PA

本装置は、フィラメントの熱電子放出を利用しない冷陰極電離真空計（ペニング真空計）の表示・制御器です。測定子の内部電極に約2kV〜3kVの高電圧を印加し、永久磁石による強力な磁場と交差させることで空間内の気体分子を効率的に電離させます。その際に発生するペニング放電の電流値を計測し、圧力値へと換算する仕組みを採用しています。

熱陰極タイプの電離真空計とは異なり、高温になるフィラメントを持たない構造のため、測定中の突発的な大気圧への暴露や、反応性ガス・腐食性ガスによる断線リスクが物理的に存在しません。そのため、コンタミネーション（汚れ）や振動が発生しやすい真空プロセスや、メンテナンスの頻度を抑えたい各種生産設備において、長期にわたり安定した耐久性を維持します。

主に中真空から高真空領域の圧力測定に対応しており、真空蒸着、スパッタリング装置、真空炉などの排気系において、到達圧力の確認やプロセスの監視に広く用いられます。フロントパネルには対数目盛のアナログメーターが搭載されており、真空引きの際の大まかな圧力推移を視覚的かつ直感的に把握することが可能です。また、外部出力端子を備えているため、記録計でのデータ取得やシステム連動にも対応しています。