中古 日本エアーテック Airtech ヘパフィルター（FFU） MAC-103

本装置は、クリーンルームやクリーンブースの天井面などに設置して使用されるファンフィルタユニット（FFU）です。本体内部に小型送風機と高性能フィルターを一体化して組み込んでおり、周囲の空気を吸い込んで清浄化し、垂直方向のクリーンな層流として吹き出すことで、空間の清浄度を維持します。

集塵要素にはHEPAフィルターを採用しており、0.3μmの微小な粒子を99.99%以上の効率で捕集することが可能です。これにより、清浄度クラス100から10,000レベルの環境構築に適しています。定格風量は10.0 m3/minを確保しており、クリーン環境で標準的に求められる約0.45 m/secの吹き出し風速を安定して供給します。

本体寸法は一辺610mmの正方形ベース（W610 × D610 mm）となっており、一般的なシステム天井のグリッド寸法に適合しやすい設計です。単独で局所的なクリーンベンチや小型ブースの構築に使用されるほか、複数台を連結配置することで大規模なクリーンルームのメインフィルターユニットとしても活用されます。半導体製造、電子部品の組み立て、医療・製薬、食品加工、各種研究機関など、厳密な微粒子（パーティクル）管理が求められる幅広い産業分野で汎用的に導入されている設備です。