中古 アネルバ ANELVA クリスタルゲージ M-336MX-SP/N16

本装置は、真空排気系において大気圧から低真空・中真空領域までの圧力を連続的に測定するための水晶摩擦真空計（クリスタルゲージ）です。測定原理として音叉型の水晶振動子を採用しており、周囲の気体分子と振動子が衝突する際に生じる摩擦抵抗（共振インピーダンスの変化）を電気信号として検出して圧力値に換算します。

一般的な熱伝導式真空計（ピラニ真空計など）と比較して、本方式は内部にフィラメントなどの高温発熱体を持たない構造となっています。そのため、測定中に突発的な大気圧への曝露や突沸が発生した場合でもセンサー部が焼損するリスクがなく、優れた耐久性を備えています。また、反応性ガスや腐食性ガスを使用する半導体製造装置や真空成膜装置のプロセス環境においても、ガスによるセンサーの劣化が少なく、長期間安定した圧力監視が可能です。

主に真空装置の荒引き（粗引き）ラインの圧力モニター、ロードロック室の真空引き確認、および装置のインターロック制御用センサーとして利用されます。型式末尾の「N16」は、真空配管との接続部に国際的な汎用規格であるNW16（KF16）フランジを採用していることを示しており、既存の真空システムやバルブ、配管ポートへの取り付けが容易です。シリーズ内で複数の接続口径が存在する中で、本機は省スペースな小口径配管への接続に最適化された仕様となっています。