中古 アネルバ ANELVA クリスタルゲージ M-320XG

本装置は、音叉型水晶振動子をセンサーとして採用した水晶摩擦真空計です。気体分子が水晶振動子に衝突する際に生じる粘性抵抗（摩擦）の変化を捉え、その共振インピーダンスの変化から圧力を算出する原理を用いています。測定範囲は大気圧（1.0×10^5 Pa）から中真空領域（1.0×10^-1 Pa）までと幅広く、チャンバーの粗引き工程から真空到達までの圧力を1台で連続的に監視することが可能です。

最大の特徴は、一般的なピラニ真空計や電離真空計と異なり、熱陰極（フィラメント）を使用していない点にあります。これにより、測定中の突発的な大気流入や異常昇圧による断線リスクが物理的に存在せず、メンテナンスの手間やランニングコストを大幅に低減できます。また、オイルミストや活性ガスが残留する環境下においても影響を受けにくく、長寿命かつ安定した測定精度を維持できるのが強みです。

視認性に優れたデジタル表示器を備えるほか、真空装置の自動制御システムと連携するためのアナログ電圧出力やセットポイント（リレー接点）出力を搭載しています。インターロック回路の構築や自動排気シーケンスへの組み込みが容易であり、研究開発用チャンバーから産業用の真空プロセス装置まで、幅広い用途で高い実用性を発揮します。