中古 キヤノン Canon アライナー PLA-501
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- メーカー
- キヤノン Canon
- 型式
- PLA-501
- 機種
- アライナー
- 備考
- Ohせず、現状にて販売
- 管理番号
- Z26031703
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
PLA-501 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 露光方式 | プロキシミティ/コンタクト(真空密着)切替 |
|---|---|
| 対応フォトマスク | 3″・4″・5″・6″ |
| 対応ウエハ | 2″・3″・4″・5″(SEMI規格) |
| 照度均一性 | ±3 % |
| アライメントギャップ/プロキシミティギャップ | 0〜98/0〜48 µm |
| アライメントスコープ | 対物×10、接眼×10・×15、スプリット視野、XY走査±8mm |
| アライメント方式 | FA: オートアライメント(許容±0.5/±1.0/±2.0µm、約10秒)、F: マニュアル |
| アライメント調整 | XY 粗動4:1・微動100:1、θ ±5°(自動調心機構付き) |
| オートフィーダ | GCAまたはテフロンキャリア(3/16″ピッチ・25枚) |
| サイクルタイム | 約30(アライメント10秒・露光1秒の場合) 秒 |
| 電源 | 本体AC110V/240V、水銀灯電源ボックス800VA以上 |
| ユーティリティ | 高圧エア3.5kg/cm²以上・低圧エア2.5kg/cm²以上・窒素1kg/cm²以上・真空45〜76cmHg |
| 外形寸法(W×D×H) | 940×800×724(本体)/1100×820×1344(専用机共) mm |
| 質量 | 225(FA・専用机共)/210(F・専用机共) kg |
※仕様は社内保管の Standard Specifications For CANON PLA-501(PLA-501 FA と 501 F(S) 共通)による
※現品がFA(オートアライメント)かF(マニュアル)かは銘板で確かめること
※照明系の出力は250W・500W・1000W・1500Wの選択があり、現品の照明系は個体で確かめること
※フォトマスクホルダー・ウエハチャック・キャリブレーターはサイズごとの部品で、付属は個体で異なる
※コントロールボックスは300×710×487mm・30kg
出典: メーカー資料
キヤノン Canon PLA-501 の装置概要 AIによる記述です
フォトマスクのパターンを、ウエハ上のレジストに等倍で焼き付けるプロキシミティ/コンタクト方式のマスクアライナー(露光装置)。マスクとウエハをスプリット視野の顕微鏡で見ながら位置を合わせ、水銀灯の紫外光を一括で当てる。研究開発や少量生産のフォトリソグラフィに使われる。PLA-501には自動アライメント付きのFAと、手動アライメントのF(S)があり、仕様の多くは共通。
フォトマスクは3〜6インチ、ウエハは2〜5インチ(SEMI規格)に対応し、照度の均一性は±3%。焼付けはプロキシミティと真空密着のコンタクトを切り替えられ、アライメントギャップは0〜98µm、プロキシミティギャップは0〜48µm。アライメントは対物×10・接眼×10/×15のスコープで行い、XYは粗動4:1・微動100:1、θは±5°動かせる。FAではオートアライメントで約10秒、サイクルタイムは約30秒(アライメント10秒・露光1秒の場合)。本体は940×800×724mm、専用机共で1100×820×1344mm、質量は専用机共でFAが225kg、Fが210kg。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
