中古微小電流・インピーダンス測定器の在庫・価格

微小電流・インピーダンス測定器は、ピコアンペア以下の微小な電流や高い抵抗、静電容量・インダクタンスといった、汎用のデジタルマルチメーターでは測りにくい電気量を測る計測器の分野である。半導体デバイスや絶縁材料、電子部品、太陽電池などの評価で使われ、大学や研究機関の材料研究から、メーカーの開発・品質管理まで用途が広い。
微小な電流を測る側の代表がピコアンメーターとエレクトロメーターである。ピコアンメーターは入力の電圧降下を小さく抑えて微小な電流を測ることに特化した電流計で、半導体のリーク電流やイオン電流、光検出器の暗電流の測定に使われる。エレクトロメーターは入力抵抗が非常に高い電圧計を基本とし、電流・電圧・抵抗・電荷を測れる多機能の測定器で、内蔵の電圧源と組み合わせて絶縁材料の体積抵抗率や表面抵抗率を測る用途が多い。電荷を直接測る機能を持つ機種もあり、帯電や静電気の評価にも使われる。
インピーダンスを測る側の代表がLCRメーターで、被測定物に交流信号を加え、そのときの電圧と電流の振幅と位相から、インダクタンス(L)・静電容量(C)・抵抗(R)を求める。測定周波数を変えられる機種が多く、コンデンサーやコイルなどの部品の評価や、材料の誘電特性の測定に使う。測定の確度は周波数や被測定物のインピーダンスの大きさで変わり、ケーブルやフィクスチャーの残留成分は、開放・短絡の補正で取り除いてから測る。CVメーターは半導体のMOS構造などに直流のバイアス電圧を掃引しながら容量を測り、酸化膜の厚さや界面の状態、不純物の濃度分布を調べる装置で、高周波CVと準静的CVの方式がある。
抵抗測定装置には、四探針法などで薄膜や導電性材料のシート抵抗・抵抗率を測る装置や、高抵抗の絶縁物を測る装置が含まれる。I-Vチェッカーは太陽電池のセルやモジュールに負荷を掃引して電流-電圧特性を測り、最大出力や開放電圧、短絡電流を求めるもので、発電設備の点検にも使われる。
選び分けは、測りたい量とその大きさで決まる。微小な直流電流ならピコアンメーター、高抵抗や電荷まで測るならエレクトロメーター、部品の交流特性ならLCRメーター、半導体の容量評価ならCVメーター、材料のシート抵抗なら抵抗測定装置となる。どれも本体だけでなく、シールドされたケーブル、テストフィクスチャー、プローバーや試料箱といった周りの道具で精度が決まる点が、この分野に共通する特徴である。微小な電流の測定では外来ノイズや漏れ電流、静電気の影響が大きく、測定環境の作り方も結果を左右する。