中古低真空ポンプ（粗引き）の在庫・価格（荏原製作所 Ebara）

低真空ポンプ(粗引き)は、大気圧から排気を始めて、チャンバーや配管を低真空から中真空の領域まで引き下げるためのポンプの分野である。ターボ分子ポンプや拡散ポンプのような高真空ポンプは大気圧から直接は動かせないため、その前に粗引きを行い、運転中はその排気口を低い圧力に保つ補助ポンプ(バックポンプ)としても働く。真空装置にはほぼ必ず入る、もっとも基本のポンプである。
この分野の中心は、ドライポンプとロータリーポンプ(油回転真空ポンプ)である。ロータリーポンプは、ポンプの中を油で封じて回転子で気体を送り出す方式で、構造が簡単で小型から大型まで種類が多く、研究室の装置で長く使われてきた。一方で油の蒸気が真空側へ戻ったり、排気から油の霧が出たりするため、トラップを組み合わせることが多い。ドライポンプは気体の通り道に油を使わない方式で、清浄な真空が得られ、半導体の製造装置のように油を嫌う装置で主流になっている。スクロール型、多段ルーツ型、スクリュー型、クロー型などの方式があり、小型の物は研究室の粗引きにも使われる。
メカニカルブースターポンプは、二つのまゆ形の回転子を同期させて回すルーツ式のポンプで、ロータリーポンプやドライポンプの吸気側に直列に付けて、中真空の領域の排気速度を大きく高める役目を持つ。単独では大気圧へ吐き出せないため、必ず背圧側のポンプと組み合わせて使う。真空排気ユニットは、これらのポンプに弁や真空計、配管をまとめて架台に載せた物で、組み立ての手間を省ける。メカニカルブースターポンプとドライポンプを一体にした物もあり、大きなロードロック室などを短い時間で排気したい装置に使われる。
選び分けは、まず油を許せるかどうかで決まる。清浄さが要るならドライポンプ、扱いやすさと手当てのしやすさを重んじるならロータリーポンプが選ばれやすい。そのうえで、排気したい容積と目標の圧力に届くまでの時間から排気速度を、流すガスの種類から耐食性や窒素パージの要否を決める。研究室の小さな装置なら、単相の電源で動く小型の物が扱いやすい。大きな排気速度が要る場合は、メカニカルブースターポンプを組み合わせる構成も考える。
中古で選ぶときは、どのプロセスで使われていたかが状態を大きく左右する。腐食性のガスや粉の出るプロセスで使われたポンプは、内部の傷みや付着物が多く、オーバーホールの履歴が重要になる。重量のある大型のドライポンプは、搬入の経路と冷却水、三相の電源の条件も事前に確かめておきたい。