中古荏原製作所 Ebara ドライポンプ A10S

Name: 荏原製作所 Ebara ドライポンプ A10S
Brand: 荏原製作所 Ebara
SKU: Z22033003
Price: 300000 JPY
Availability: InStock

荏原製作所 Ebara A10S 外観写真(1/15) — 外観写真1 / 15

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荏原製作所 Ebara A10S 銘板写真(7/15) — 銘板写真7 / 15

本体価格(税別、送料別)300,000円

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メーカー: 荏原製作所 Ebara
型式: A10S
機種: ドライポンプ
管理番号: Z22033003
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

A10S の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

排気速度	1000/1200 L/min
到達圧力	5.3/4.0 Pa
吸気口フランジ	NW40
方式	多段ドライ真空ポンプ(ブースタポンプなし)
モーター出力	2P 2.2 kW
N2概略流量	17〜20(希釈0モード時 3.4) Pa m³/s
油量	0.4 L
質量	220 kg
定格電流	11.7/11.1 A
排気口フランジ	NW40
冷却水量	Min. 3.5 L/min
冷却水温度	Max. 30 ℃
冷却水接続	Rc3/8(カプラ付)
N2供給圧力	0.1〜0.7(レギュレータ設定 0.04〜0.07) MPa
電源	3相 200V(50Hz)/200-220V(60Hz)

※排気速度・到達圧力は50Hz/60Hzの順。

※取扱説明書はA10S(A10S-S)を対象とし、末尾-Sの意味は資料に説明なし。

※同名の取説がZ:に日本語版(OCR崩れあり)と英語版(テキスト良好)の2本あり、数値は英語版で確認し日本語版と一致した。

出典: メーカー資料

荏原製作所 Ebara A10S の装置概要　AIによる記述です

排気する空間に油を使わず、大気圧から真空まで引ける多段式のドライ真空ポンプ。ポンプ室に油が無いため、排気する気体に油の蒸気が混ざらず、半導体や電子部品の製造装置、成膜・エッチング装置などの荒引きや、高真空ポンプの背圧側の排気に使われる。ブースタポンプを持たない単体の構成。
排気速度は1000/1200L/min、到達圧力は5.3/4.0Pa(いずれも50Hz/60Hzの順)。吸気口・排気口ともNW40、モーターは2P 2.2kW、電源は3相200V(50Hz)/200-220V(60Hz)で、定格電流は11.7/11.1A。N2の概略流量は17〜20Pa m³/s(希釈0モード時は3.4)、N2の供給圧力は0.1〜0.7MPa(レギュレータ設定は0.04〜0.07)。冷却水はRc3/8(カプラ付)で接続し、水量は3.5L/min以上、水温は30℃以下。油量は0.4L、質量は220kg。
数値は取扱説明書のA10S(A10S-S)によるもので、末尾の-Sの意味は資料に説明が無い。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。