中古真空バルブの在庫・価格（キヤノンアネルバテクニクス Canon ANELVA Technix）

真空バルブは、真空装置の排気系やガス供給系で、流路の開閉や流量の調整を行う弁である。真空容器をポンプから切り離す、ロードロック室と処理室を仕切る、大気開放(ベント)を行う、プロセスガスを導入するなど、役割によって形が大きく異なる。一般の流体用バルブと違い、外部からの漏れ(外部リーク)と、閉じたときの弁座からの漏れ(弁座リーク)をともに極めて小さく抑えること、内部からのガス放出や発塵を少なくすることが求められる。
形状による主な種類として、入口と出口が直角に曲がるアングル弁、流路が一直線のストレート弁(インライン弁)、大口径の流路を薄い弁体で仕切るゲート弁、弁板を振り子状に動かして開度も制御する振り子弁、バタフライ弁がある。ゲート弁は全開時に流路をほぼ遮らずコンダクタンスを損なわないため、ターボ分子ポンプの入口や搬送口に置かれる。アングル弁とストレート弁は小〜中口径の粗引き、ベント、バイパスの系統に多い。
駆動方式には手動、圧縮空気で動かす空圧式、電磁式があり、空圧式は開閉位置を確かめるスイッチを備えて装置のシーケンスに組み込まれる。軸の封止はベローズ式とOリング摺動式に大別される。ベローズ式は可動部を金属の蛇腹で外気から隔てるため、発塵とガス放出が少なく清浄度が高いが、蛇腹の疲労が開閉寿命を決める。Oリング式は構造が簡単で高速動作や耐久性に優れるが、真空性能はやや劣る。弁座のシールはフッ素ゴム(FKM)が標準で、耐熱性や耐薬品性、耐プラズマ性が必要な場合はパーフロロエラストマー、超高真空でベーキングする系では金属シールのオールメタル弁を選ぶ。
ガス導入弁(バリアブルリークバルブ)は、微小な流量を連続的に調整して真空容器へガスを導入するための弁で、ニードル式や、金属どうしの接触面の変形を利用する型がある。半導体のガスラインでは、金属ガスケットを使う面シール継手と組み合わせた小口径のベローズ弁やダイヤフラム弁が使われ、継手の締付け管理と内面の清浄度が重要になる。
実務上の要点は、リーク量、使用圧力範囲、差圧の方向、耐熱温度、口径とフランジ規格の確認である。高真空用では外部リークと弁座リークがおよそ10^-9〜10^-11 Pa・m^3/s程度の値で示されることが多い。中古品ではシール面の傷、Oリングの劣化、ベローズの損傷、空圧シリンダの動作不良が典型的な不具合で、ヘリウムリークディテクタによる外部リークと弁座リークの確認と、シール類の交換を前提に考えるとよい。