中古気化器コントローラーの在庫・価格

気化器コントローラーは、CVDや拡散、ALDなどで使う液体の原料を気体にしてチャンバーへ送る気化器(ベーパライザー)を動かし、気化の温度や原料の流量を制御するための機器である。ベーパライザーコントローラーとも呼ばれる。常温で液体の原料は、そのままではマスフローコントローラーで流せないため、決まった量を確実に気体にして送る仕組みが要り、その制御を受け持つのがこの機器である。気化器コントローラーだけでは働かず、気化器本体や流量制御器と組み合わせて一つの供給系を作る。
液体の原料を気体にして送る方式には、大きく三つある。一つ目はバブリングで、原料を入れた容器にキャリアガスを吹き込み、原料の蒸気を含ませて送る。二つ目は、容器ごと原料を加熱して蒸気圧を上げ、その蒸気を高温用のマスフローコントローラーで流す方式である。三つ目は直接気化で、液体の流量を液体用の流量制御器で決めてから、加熱した気化器に送り込んで一気に気体にする。直接気化は供給量を正確に決めやすく、蒸気圧の低い原料にも使えるため、半導体の製造装置で広く使われている。
気化器コントローラーは、こうした気化器のヒーターの温度を決めた値に保ち、気化器の弁や流量の設定を装置からの信号に合わせて動かす。機種によっては、液体の流量制御器やキャリアガスのマスフローコントローラーへの電源の供給や、流量の表示もまとめて受け持つ。気化器と流量制御器、コントローラーは同じ系列で組み合わせて使うように作られていることが多い。
使われる原料は、シリコン酸化膜の原料になる有機シリコン化合物や、金属を含む有機化合物、水など様々である。原料の中には、空気中の水分と反応して固まる物や、熱で分解しやすい物があり、気化器の温度が低すぎると凝縮し、高すぎると分解して詰まりの原因になる。そのため気化器から先の配管も加熱して保温し、温度を原料に合わせて管理することが大切である。原料を入れ替えるときや保守のときには、配管を不活性ガスで置換し、残った原料を抜き取る手順も欠かせない。
選ぶときは、組み合わせる気化器本体と流量制御器の型式に対応しているか、使う原料と流量の範囲に合うかを、まず確かめる。中古では、前に使われていた原料が気化器や配管に残っていることがあり、原料によっては取り扱いに注意が要るため、何に使われていたかを確かめ、洗浄や部品の交換を見込んでおくとよい。