中古 Aera 気化器コントローラー SOURCE VJ
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- メーカー
- Aera
- 型式
- SOURCE VJ
- 機種
- 気化器コントローラー
- 仕様
- ガス:N2 キャリアガス流量(設定):150SCCM
- 管理番号
- Z230331097
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 機器の種類(銘板表記) | VAPORIZER CONTROLLER(気化器コントローラー) |
| キャリアガス流量(現品ラベル) | 150 sccm |
| ソース供給量(現品ラベル) | 100 mg/min |
| 混合比(RATIO、現品ラベル) | 10 % |
| 温度条件(TEMP、現品ラベル) | 室温(room) |
SOURCE VJ の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| キャリアガス | N2 |
|---|---|
| ソース(液体原料) | BBr3(三臭化ホウ素) |
| 電源 | 100 V(AC) |
| 制御入力(CONTROL) | 0.5〜5 VDC |
| 出力信号(RATIO・CARRIER・SOURCE) | 0〜5 VDC |
| 基準電圧出力(REF.) | +5.00 VDC |
| 接続口 | CARRIER IN・CARRIER OUT・MIX(2か所) |
| その他の端子 | CASE GND・COMMON・VALVE TEST PT. |
※キャリアガス・ソース・混合比・温度の値は現品ラベルに記された条件で、型式一般の仕様として確かめたものではない
※ソース供給量はラベルの表記「100mg/M」を mg/min と読んで記載した
※測定・制御の方式や流量範囲などのメーカーの仕様資料は確かめられていない
出典: 現品の銘板
Aera SOURCE VJ の装置概要 AIによる記述です
液体の原料(ソース)から発生させた蒸気をキャリアガスに含ませて送る系で使う、気化器用のコントローラー。前面銘板の表記は VAPORIZER CONTROLLER で、接続口はキャリアガスの出入口(CARRIER IN・CARRIER OUT)と、混合ガス用の接続口(MIX)2か所に分かれている。液体を入れた容器にキャリアガスを通して蒸気を取り出す方式では、蒸気の供給量を一定に保つためにこうした制御器が使われる。
現品のラベルには、キャリアガス N2 150sccm、ソース BBr3(三臭化ホウ素)100mg/min、混合比(RATIO)10%、温度(TEMP)室温の条件が記されている。BBr3 は、拡散炉でシリコンにホウ素を拡散させる工程で液体の不純物源として使われる物質。
電源は AC100V で、制御入力(CONTROL)は 0.5〜5VDC。混合比・キャリア流量・ソース量の各信号は 0〜5VDC で出力され、+5.00VDC の基準電圧出力とバルブのテスト端子(VALVE TEST PT.)も備える。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
気化器コントローラーの買取も行っています
不要になった気化器コントローラーがありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。